PLC技术在太阳能硅片清洗机控制上的应用（有图纸）.doc

PLC技术在太阳能硅片清洗机控制上的应用 [摘要] 文章介绍了PLC的结构和工作原理，概述了太阳能硅片清洗机的结构和工艺流程，对PLC在太阳能硅片清洗机控制上的应用可行性进行了探讨，对PLC控制太阳能硅片清洗机梯形图及程序进行了分析，对太阳能硅片清洗机采用PLC控制的优越性进行了总结。设备产品质量高，控制系统可靠性高，自动化水平高。随着PLC技术的不断发展，PLC在太阳能硅片清洗机的控制上将有更广阔的应用前景。 [关键词]太阳能硅片清洗机; PLC; 梯形图; 程序; 控制 CAD图纸，联系695132052 目 录 前言 PLC控制太阳能硅片清洗机的意义 ……………… 3-4 第1章 概述 ………………………………………………5-9 PLC的由来 ……………………………………………5 PLC的分类与特点 ……………………………………5-6 PLC的应用领域与发展趋势 …………………………………6 PLC的结构和工作原理 …………………………………6-7 PLC的工作方式 ………………………………………7 PLC应用系统的设计步骤 …………………………………7-9 第2章 太阳能硅片清洗机PLC控制设计 …………………………9-32 太阳能硅片清洗机的介绍……………………………………10 PLC应用可行性及优越性 ……………………………………10-11 PLC控制清洗机的程序设计 …………………………………11-33 2.3.1 PLC的选型 …………………………………………………11-12 2.3.2可编程控制器的输入与输出接口分配 ………………………12-15 2.3.3梯形图与指令表 ……………………………………………15-33 第3章 回顾与展望 ………………………………………………33-34 致 谢 ……………………………………………………………34-35 参考文献 ……………………………………………………………35 附图 …………………………………………………………………36 前 言 近年来我国太阳能电池生产量和市场销售量分别以年均15%和20%的速度增长，去年全国太阳能电池产量达到2.4兆瓦，创历史新高。专家预测，未来3-5年内全国太阳能电池生产总量将猛增至15-20兆瓦。 太阳能是一种清洁、可再生能源，而太阳能电池因为实现了直接将太阳能转化为电能而受到世界各国的重视。去年全球太阳能电池生产量已达到200兆瓦，总装机容量达到100万千瓦。世界光伏界一般认为，到2010年太阳能电池成本将降低到可以与常规能源竞争。我国太阳能资源丰富，年日照数在2200小时以上的地区占国土面积的2/3以上。全国目前还有6000万人口需要解决电视、通讯、照明及生产用电问题，光伏电池的市场前景十分广阔。 太阳能光伏产业的迅速发展，使得我国太阳能硅片清洗设备的发展举世瞩目，并呈现稳定增长势头伴随着硅片的大直径化,器件结构的超微小化、高集成化,对硅片的洁净程度、表面的化学态、微粗糙度等表面状态的要求越来越高，主流工艺已经在从90nm向65nm过渡。高集成化的器件要求硅片清洗必须减少给硅片表面带来的破坏和损伤,减少溶液本身或工艺过程中带来的。而清洗设备也正向着小型化、非盒式化及一次完成化方向发展,以减少工艺过程中的,满足90nm乃至65nm级器件工艺的要求。这无论对清洗工艺还是对清洗设备都是一个极大的挑战,传统的清洗方法已不能满足要求。 1.1 PLC的由来 20世纪60年代末，美国最大的汽车制造商通用汽车公司（GM）为了适应汽车型号不断更新的需要，试图寻找一种新的生产线控制方法，使之尽可能地减少重新设计继电器控制系统的工作量以及尽量减少控制系统硬连接线的数量，以降低生产成本，缩短制造周期，减少生产线的故障率，从而有效地提高生产效率。首先，由美国数字设备公司（DEC）研制出符合上述想法的工业控制装置，命名为可编程逻辑控制器，即PLC（Programmable Logic Controller）。1969年，第一台PLC在GM公司汽车生产上首次运行，成功地取代了沿用多年的继电器控制器系统，尽管当时的PLC功能仅具有逻辑控制、定时、计数等功能,但却标志着一种新型的工业控制装置问世。 随着微电子技术和计算机技术的飞速发展，20世纪70年代中期又出现了微处理器和微型计算机，这些新技术很快被用到PLC之中，使得PLC不仅具有逻辑控制功能，而且还增加了运算、数据处理和传递等功能，从而成为具有计算机功能的新型工业控制装置。1980年美国电器制造商协会(NEMA)正式将其命名为可编程控制器(Progr