真空知識.docVIP

蒀蚁袆肄莆蚀罿荿节 § 第1部分 真空的初步知识 1.1基本概念 1．??? 2．??? Pa） 1Pa就是1m2面积上作用1N的压力。 1大气压=1.03×105Pa 3．??? Pa） 4．??? Pa/h 5．??? ①??? 旋片泵：单级 多级 ②??? 罗茨泵： ??????????????????????????????????????????? ③??? 扩散泵： ??????????????????????????????? ④??? 挡板阀 ????????????????????????????????????????????? ⑤??? 阀门（不指明类型） 6．??? L/S） 当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比。 7．??? Pa） 在规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向平稳的最低压强。 8．??? 旋片泵表示名称：X，双级旋片泵表示名称：2X， 罗茨泵表示名称：ZJ，P