偏振差分反射光谱研究半导体材料的平面内光学各向异性.pdfVIP

第 2 6 卷 , 第7 期 　 　　　　　　　　　　　光 谱 学 与 光 谱 分 析 Vol26 ,No7 ,pp 2 0 0 6 年 7 月 　　　　　　　　　　　 　Sp ect ro scop y and Sp ect ral Analy si s J uly , 2006 　 偏振差分反射光谱研究半导体材料的平面内光学各向异性 1 2 1 3 1 赵 　雷 , 陈涌海 , 左玉华 , 王海宁 , 时文华 1. 中国科学院半导体研究所 , 集成光电子国家重点联合实验室 , 北京 　100083 2 . 中国科学院半导体研究所 , 半导体材料科学重点实验室 , 北京 　100083 3 . 中国科学院电子学研究所 , 传感技术国家重点实验室 , 北京 　100080 摘 　要 　介绍了偏振差分反射光谱的原理 , 并结合半导体材料平面内光学各向异性的来源 , 总结了偏振差 分反射光谱作为一种重要的表面 、界面分析技术在半导体材料研究中的应用 , 并分析指出其在 Si 基材料电 光改性研究中将会起到重要作用 。 主题词 　偏振差分反射光谱 ; 半导体 ; 平面内光学各向异性 ; 电光改性 中图分类号 : O433 , TN 30 1 1 　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : (2006) ( ) 与它们成 45°角 , 并平行于样品的 00 1 面内某个光学各向异 ( 引　言 性的主轴方向, 例如[ 110 ]方向或者[110 ]方向 分别设为 x ) 轴和 y 轴 , 相应的振幅反射系数为 rx 和 ry 。光源发出的光 　　光吸收谱和光反射谱能够反映出材料的许多性质[ 1 , 2 ] 。 经单色仪分光后照射到起偏器上获得线偏振光 , 这束线偏振 当光照射到固体材料上时 , 由于光与电子 、离子间的相互作 光近垂直的入射到样品表面上 , 振幅为 E0 , 经样品反射后的 用 , 电子将以光频在入射光的电矢量方向上做受迫运动 , 产 反射光被 P EM 调制 , 再经过检偏器 , 只剩下平行于检偏器 生极化位移 。如果在不同的方向上 , 电子产生这种极化位移 偏振方向上的分量 , 探测器探测到的光强信号为