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ISSN 清华大学学报 自然科学版 2001 年 第 41 卷 第 2 期 633
CN 112223N ( ) , 2001, . 41, . 2 21 24
J T singhua U niv Sci Tech V ol N o
纳米硬度计研究多晶硅微悬臂梁力学特性
丁建宁, 孟永钢, 温诗铸
(清华大学 精密仪器与机械学系; 摩擦学国家重点实验室, 北京 100084)
摘 要: 微构件的弹性系数影响微型传感器的静态和动态 工艺可设计制造集成、复杂的微型机器人系统。在实
力学特性, 为了精确的测试和评定微构件的力学特性, 利用 验室, 科学家在芯片上已制造出各种M EM S 器件,
纳米硬度计通过微悬臂梁的弯曲试验来测量其力学特性。运 应用于数据存储、细胞融合、微卫星的推进系统和核
用该方法可精确测量微悬臂梁纳米级弯曲变形, 在研究微悬 武器的微安全开关机构等多种场合, 但是对“
M EM S
臂梁的纯弯曲变形过程中, 必须考虑压头在微悬臂梁上的压
装置的失效机理以及如何建立失效模型”这一问题
入以及微悬臂沿宽度方向的挠曲。试验研究表明, 多晶硅微
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仍未能有效解决 。对各种 器件的长期可靠
M EM S
悬臂梁的纯挠曲与载荷成很好的线性关系, 通过线性关系计
性的研究还需要很多有关微构件的疲劳和断裂的基
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算得到梁的弹性模量为[1 ± 2. 9%～ 6. 3% ] ×156 GPa。
础数据, 这些还都未进行系统研究。微构件的弹性系
关键词: 力学性质; 微机械; 薄膜; 多晶硅; 纳米硬度计
数还影响甚至决定微型传感器的静态和动态力学特
中图分类号: TB 03 文献标识码: A
性, 这在某种程度上就需要更加精确的测试和评定
文 章 编
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