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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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! #$ 射线辐照对肖特基二极管 噪声的影响!
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杨丽侠 杜 磊 包军林 庄奕琪 陈晓东 李群伟 张 莹 赵志刚 何 亮
!）（西安电子科技大学技术物理学院，西安 %!%!）
$ ）（西安电子科技大学微电子学院，西安 %!%!）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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在肖特基二极管（ ， ）辐照损伤机理和总剂量效应分析的基础上，利用 噪声的迁移率
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涨落和载流子数涨落模型，深入研究辐照损伤对器件 噪声的影响 研究结果表明，辐照诱生新的界面态，改变
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界面态密度分布，进而调制了肖特基势垒高度，增大表面复合速度是引起器件性能退化主要原因，也是 噪声剧
!!
烈增加的主要原因 正因为如此，噪声与器件退化存在相关性，即噪声拟合参数 越大，偏离标准值越多，器件可
8
靠性越差，抗辐照能力越低，在辐照环境下工作越容易失效 由此可知， 噪声特性可以用作 辐照损伤机理
8 !! )67
的研究工具，并有可能用于)67 抗辐射加固的无损评估8
9
关键词：肖特基二极管， 噪声， 射线，界面态
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阻、反向漏电流、击穿电压等参数随辐照总剂量的变
化关系 特别测量了 噪声特性，分析不同偏置
!I 引 言
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