GB/T 8014.3-2005铝及铝合金阳极氧化氧化膜厚度的测量方法　第3部分：分光束显微镜法.pdf

_ _ 荡暮 中华 人 民共 和 国 国家 标 准 代替铝及铝合金阳极氧化 氧化膜厚度的测量方法 乙星梦 八 .六 、.,,」,. 山‘乏毖匕 . 口: 训凡 .习己 : 一 ( , 一 ,发布 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局。, 中 ’事臂秘,花瞥‘道瞿豁荟发布 曰 . ..舀.. 月 青 《铝及铝合金阳极氧化膜厚度的测量方法》分为如下 个部分: ?铝及铝合金阳极氧化 氧化膜厚度的测量方法 第 部分:测量原则 ?铝及铝合金阳极氧化 氧化膜厚度的测量方法 第 部分:质量损 失法 ?铝及铝合金阳极氧化 氧化膜厚度的测量方法 第 部分:分光束显 微镜法 本 部分为 的第 部分。 本 部分修改采用《铝及铝合金阳极氧化一氧化膜厚度测定一分光束显微镜无损测 定法))(英文版),并根据 重新起草。本部分与 的差异体现在编写格式方 面。为方便比较,在资料性附录 中列出了本部分章条和对应的国际标准章条的对照一览表。 本 部分代替 《铝及铝合金阳极氧化膜厚度的试验方法 分光束显微法》,本部 分与的差异体现在编写格式方面。 本 部分系无损检测方法。 本 部分的附录 为资料性附录。 本 部分由中国有色金属工业协会提出。 本 部分由全国有色金属标准化技术委员会归口。 本 部分负责起草单位:北京有色金属研究总院。 本 部分参加起草单位:深圳华加日铝业有限公司、广东坚美铝型材厂有限公司。 本 部分主要起草人:朱祖芳、李永丰、熊进平、戴悦星、谭群燕、章吉林。 本 部分由全国有色金属标准化技术委员会负责解释。 本 部分所代替历次版本标准发布情况为: ?。 铝及铝合金阳极氧化 氧化膜厚度的测量方法 第 部分:分光束显微镜法 范围 本 部分规定了用分光束显微镜测定铝及铝合金阳极氧化膜厚度的无损测定方法。 本 部分适用于膜厚大于 的一般工业用氧化膜,或膜厚不小于的表面平滑的氧化膜。 本 部分不适用于深色氧化膜或表面粗糙的氧化膜。 方法原理 在 分光束显微镜中,一束狭长平行光线()倾斜地人射全氧化膜表面,通常人射角取(如图 所 示)。光束的一部分 在氧化膜的外表面反射出来,另一部分光束 :穿过氧化膜并在金属与氧化膜 的界面上反射出来。 :经历了两次折射。这样,在视区可得到两条平行亮线,两平行线间距离正比于 氧化膜的厚度及仪器的放大倍数。两条平行线的间距也与氧化膜的折射率及仪器的几何形状有关。 , 】 ” / 氧化膜 、口叮一-.? 一丫-一 }‘ ““ 人 图 当 人射角及测量仪器的物镜光轴与试样表面夹角均为 。时,氧化膜厚度可以按公式(计算: 。=。‘ 一 二( ) 式 中: ? 氧化膜真实的厚度单一测量值,单位为微米 (。 ,? 仪器测得的厚度,单位为微米( 氧化膜的折射率(一般为 一术语、定义 确立的以及下列术语、定义适用于本部分。 阳 极氧化膜的局部厚度 在 考察面积内,至少取 点对膜厚进行单一测量,测得结果的算术平均值称为阳极氧化膜的局部 厚度。 仪器 专 用分光束显微镜,通常用于测量透明膜厚及表面粗糙度。该仪器用阳极氧化膜的标样进行校准, 该标样的膜厚事先已用横截面显微法加以确定。 测皿 按仪器生产厂家提供的说明书进行测量。测量不同点的膜厚时,转动螺旋测微鼓,使十字格架从一条线移动至另一条线。有些仪器还可调 节放大倍数,使鼓轮上的读数与真实的厚度单一测量值相对应。在考察面积内,至少取 点对膜厚进行单一测量。 计算计算所得单一测量值的算术平均值。每个单一测量值相对于算术平均值的允许偏差为士 % 异常值个数不得超过总测量点数的 ,并且异常值在计算平均值时必须舍去,同时应另测两 次,并将该两个测量结果(无论是否出现异常值)代人平均值)的计算。 按公式 计算平均偏差: 习}一若{ =二三上---~一-‘( ) 式 中:平均偏差;单位为微米(氧化膜真实的厚度单一测量值;单位为微米( ? 所得氧化膜真实的厚度单一测量值的算术平均值;单位为微米( 试验报告 试 验报告应包括下列内容: 本部分编号;使用的测试方法; )测试结果和结果表示方法; 测试过程中的任何异常情况;)本部分未涉及的或被认为可选择的所有操作;试验日期;)测试人员。