吸收辐射复合金刚石膜的制备及光学研究.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 29 !! #%% !! ， ， ， -FA 129 MF 1 !! MFNO3POQ #%% （ ） !%%%*$#%H#%%H29 !! H9%$$*%4 I,JI +:KL,I KLML,I #%% ,R@B 1 +RST 1 KF5 1 吸收辐射复合金刚石膜的制备及光学研究! ） ） ） ） ） ） ! ! # $ ! ! 梁中翥 梁静秋 郑 娜 姜志刚 王维彪 方 伟 !）（中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，长春 !$%%$$ ） # ）（中国科学院东北地理与农业生态研究所，长春 !$%%!# ） $ ）（吉林大学超硬材料国家重点实验室，长春 !$%%!# ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） #%% # !# #%% ’ $ 采用微波等离子体化学气相沉积（ ）和直流热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积（ ）两种 ()*+,-. .,*+,-. 方法相结合，制备出一种吸收辐射的复合金刚石膜，它对宽光谱范围的光辐射具有 / — 0# / 的吸收率，同时具 有较低的反射率和透过率1 随着黑色吸收辐射金刚石层厚度的增加，复合金刚石膜的热导率将小幅度降低，但黑色 6 ! 6 ! 金刚石膜层厚度小于 时，复合金刚石膜的热导率都在 · · 以上，这满足吸收辐射复合金刚石膜的 !2 3 !4 ) 53 7 ! 高导热需求1 用热阴极.,*+,-. 方法制备的黑色吸收辐射金刚石膜层在 !2%%—!4%% 536 ! 范围和 !$2% 536 ! 处出现 了对应于非金刚石碳相的宽带拉曼峰 随着甲烷浓度的增加，金刚石膜中会出现更多的非金刚石碳相成分，即石墨 1 等非金刚石碳相在金刚石膜中富集，复合金刚石膜的透光性也越来越差1 黑色吸收辐射金刚石层直接沉积在高纯 金刚石片上，具有较高热导率和吸收率，并且该复合膜背面具有绝缘性1 关键词：吸收辐射，光学材料，金刚石，热导率 ： ， ， ， !## 8942 9!!2 9!4%: #4%) 76 ! ，并且铜和碳化硅的热膨胀系数分别是金刚石 的 倍和 倍，所以金刚石可用作理想的大功率半 !0 引 言