JBT 53021-1999 真空镀膜设备 产品质量分等.pdfVIP

J 78 JB/T 53021－1999 m o c . 真 空 镀 膜 设 备 产 品 质 量 分 等 w （内部使用） x f z b w. w w 1999-12-30 发布 2000-06-01 实施 国 家 机 械 工 业 局 发 布 JB/T 53021－1999 前 言 本标准是对 JB/T 53021—92 《真空镀膜设备 产品质量分等》进行的修订。此次修订，对其主要 技术内容作了大的修改。 本标准自实施之日起代替 JB/T 53021—92。 m 本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出并归口。 本标准起草单位：沈阳真空技术研究所。 o 本标准主要起草人：李玉英、李春影。 本标准于 1992 年首次发布。 c w. x f z b w. w w I 中 华 人 民 共 和 国 机 械 行 业 标 准 真 空 镀 膜 设 备 JB/T 53021－1999 产 品 质 量 分 等 代替 JB/T 53021—92 （内部使用） 1 范围 m 本标准规定了真空镀膜设备（以下简称产品）的质量等级、检验规则和评定方法。 –4 –3 本标准适用于压力在 10 ~10 Pa 范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备产品。 o 2 引用标准 c 下列标准所包含的条文，通过在本标准中