含氟有机硅改性多孔二氧化硅减反膜.pdfVIP

1 第29卷 第6期 光 学 学 报 Vo1．29，No．6 2009年6月 ACTA 0PTICA SINICA June，2009 文章编号：0253—2239(2009)06—1719—05 含氟有机硅改性多孔二氧化硅减反膜 张清华 杨 伟 马红菊 马 平 许 乔 (成都精密光学工程研究中心，四JII成都 610041) 摘要 二氧化硅减反膜的结构疏松，且胶粒表面存在大量羟基，膜层极易吸附环境中的水分和有机蒸气，透射比稳 定性较低。为了改善原有减反膜的环境稳定性，以3，3，3-三氟丙基三甲氧基硅烷和3，3，3-三氟丙基甲基二乙氧 基硅烷为掺杂剂，正硅酸乙酯为前躯体，采用溶胶一凝胶法制备了两个系列的SiOz减反膜。结果表明，含氟硅氧烷 改性的系列膜层的疏水性能均得到显著增强。CF 一CH —CH 一Si或CF。一CH2-CH2-Si-CH 质