电子器件制造业清洁生产评价指标体系(征求意见稿)编制说明.docVIP

电子器件（半导体芯片）制造业清洁生产评价指标体系 编制说明 （征求意见稿） 1 指标体系制定的主要产业政策介绍 90年代初，我国从发达国家引进清洁生产的概念，并与多个国家开展了多种形式的合作。1997年4月，国家环境保护局制定并发布了《关于推行清洁生产的若干意见》，要求地方环境保护主管部门将清洁生产纳入已有的环境管理政策中，以便更深入地促进清洁生产。1995和2000年两次修订颁布的《中华人民共和国大气污染防治法》中均明确规定“企业应当优先采用能源利用效率高、污染物排放量少的清洁生产工艺，减少大气污染物的产生。”2002年6月29日，第九届全国人大常委会第二十八次会议通过《中华人民共和国清洁生产促进法》，该法于2003年1月1日起实施。从此，清洁生产有了专门的法律保障。 为贯彻落实《清洁生产促进法》，引导企业采用先进的清洁生产工艺和技术，全面推行清洁生产，国家经济贸易委员会、国家环境保护总局分别于2000，2004，2006年先后发布了3批《国家重点行业清洁生产技术导向目录》。该目录涉及冶金、石化、化工、轻工、纺织、机械、有色金属、建材、电力、煤炭，半导体等行业，共141项清洁生产技术，是行业主管部门在对本行业清洁生产技术进行认真筛选、审核的基础上，组织有关专家进行评审后确定的。这些技术经过生产实践证明，具有明显的经济和环境效益，同时对于推进清洁生产技术、工艺、设备、产品的升级换代，节约资源能源，促进经济增长方式转变，实现资源优化配置具有重要的现实意义。 在当今全球倡导“绿色制造”的大环境下，各国均相继出台了与电子电气产品污染控制与资源综合利用等相关的指令及法规，企业也通过不断改进技术方案做到合规。根据《中华人民共和国清洁生产促进法》，企业应开展清洁生产技术研究，通过改进设计、使用清洁的能源和原料、采用先进的工艺技术与设备、改善管理、综合利用等措施，从源头削减污染，提高资源利用效率，减少或者避免生产、服务和产品使用过程中污染物的产生和排放，以减轻或者消除对人类健康和环境的危害。另外，在我国《电子信息产品污染控制管理办法》中也提出要通过设计、生产过程中，改变研究设计方案、调整工艺流程、更换使用材料、革新制造方式等技术措施? 推进工业节能减排 》署名文章中明确指出：“要加快推行清洁生产，积极推行资源综合利用，切实加强工业“三废”污染防治。加强工业清洁生产审核工作，编制工业先进适用清洁生产技术指南，制定清洁生产水平评价标准编制通则。抓紧重点行业、重点企业的工业治污，把减排和治污紧密结合，标本兼治。控制污染源，实现少减排、零排放”。因此，作为信息产业中上游半导体行业，希望从产品生命周期的角度，从源头的有害物质减量化，生态设计，特别是工艺制造过程指导企业，制定相关产品清洁生产指导性技术文件，使企业采用优化技术，满足清洁生产审核要求，并达到排放要求。 半导体芯片制造业作为高新产业往往被人误解为也是“清洁”的产业，但事实上，电子器件生产过程中使用了大量繁多的各种有机和无机物，并有许多有毒有害物，对环境危害较为严重，如不加以控制，将会产生较大的环境污染。我国在大力发展电子器件产业的同时，如果忽视其对环境产生的重大影响，势必将破坏我国的环境现状。电子器件是电子电气产品中使用量较多，且其生产过程会使用一些有毒有害物质，如清洗剂，如不加以管控，容易污染环境，因此需要尽快研究、制定电子器件行业的清洁生产评价指标体系。 2 半导体行业概况 中国半导体行业协会表示，“十二五”期间，我国半导体行业的投资有望超过2700亿元，较“十一五”增加1倍。报道称我国将继续通过“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”支持集成电路产业，且支持力度还将加大。在政府的全方位扶持下，中国半导体产业将迎来一个“黄金时期”，龙头上市公司有望被培育成具有国际竞争力的企业。 工信部此前也已明确，将努力打破资金、技术、市场、人才和政策瓶颈，在对集成电路产业加大投入的同时，“十二五”期间将大力推进企业兼并重组，“培育形成具有国际竞争力的企业，实现产业群体性跃升发展”。 2013年国家发展和改革委员会第21号令发布了《产业结构调整指导目录（2011年本）（2013年修正）》第28条明确提出信息产业中的半导体制造业是国家鼓励发展的优先产业。 2.1 我国半导体芯片生产概况 目前我国大陆及台湾地区8英寸及12英寸半导体厂商及生产能力见表1和表2。 表1 8英寸半导体生产厂商及产能 表1 12英寸半导体生产厂商及产能 2.2 我国半导体行业技术发展 推动半导体产业发展的技术因素总体上说有两个：一是芯片尺寸的缩小，已经实现1-0.5-0.35-0.25-0.18-0.13-0.11-0.09um的过渡，目前正向65-45-32-22nm挺进；二是晶圆尺寸不断扩大，已从100-1