差动电容式加速度传感器测量系统的研究与应用.pdfVIP

论文题目：差动电容式加速度传感器测量系统的研究与应用 专 业：控制理论与控制工程 硕 士 生：王小鑫 （签名） 指导教师：王再英 （签名） 摘 要 传感器技术作为现代科学技术及各项领域的重要技术基础，是当今世界上令人瞩 目、迅猛发展的一种高新技术，是一个国家科学技术发展和综合实力的重要标志之一。 作为传感器的一个重要分支，加速度传感器受到了越来越多的关注。 电容式加速度传感器因其灵敏度高、功耗低、温漂小、结构简单可靠、非侵入式安 装等特点，一直是加速度传感器敏感结构的设计重点。论文在分析变间隙差动电容式加 速度传感器原理及传感器输出信号特点的基础上，针对微小电容变化量的测量，设计并 制作了改进型张弛振荡测量电路；并对电路进行了性能测试，测试结果表明该电路在灵 敏度、分辨率、非线性度、零漂等方面均具有良好性能。针对测量电路的输出信号，设 计了以 DSP 为核心的数据采集与处理系统，实现测量数据的处理及上传功能。上位机 基于 LabVIEW 虚拟仪器软件设计，实现串口数