基于杂蚤早皂燥蚤凿函数的离轴照明光源全参数解析模型鄢.pdfVIP

物理学报摇 粤糟贼葬孕澡赠泽援杂蚤灶援摇 灾燥造援远园袁晕燥援缘 渊圆园员员冤摇 园缘源圆员猿 基于杂蚤早皂燥蚤凿 函数的离轴照明光源全参数解析模型鄢 员冤 员冤圆冤覮 员冤 员冤 刘摇 巍 摇 刘世元 摇 吴小飞 摇 张传维 员冤渊华中科技大学武汉光电国家实验室袁武汉摇 源猿园园苑源冤 圆冤渊华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室袁武汉摇 源猿园园苑源冤 渊圆园员园年员圆月怨 日收到曰圆园员园年员圆月圆怨 日收到修改稿冤 摇 摇 本文提出一种全面描述光刻机离轴照明光源物理分布特性的全参数解析模型袁该模型采用杂蚤早皂燥蚤凿 函数作为 构造各种主流离轴光源解析模型的核函数援提出通过加入光源全参数修正项来表征真实光源的各种物理畸变和偏 差袁全参数修正项可展开为傅里叶级数形式袁相应级次的傅里叶系数具有特殊的物理意义袁可分别代表偏心尧倾斜尧 椭偏等形式的光源畸变袁为光刻分辨率增强技术及其相关领域提供了仿真条件与理论依据袁具有重要的应用价值援 关键词院光学光刻