金属有机化合物汽相淀积技术制备布拉格反射镜确定外延厚度的方法.pdfVIP

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2017-09-13 发布于重庆
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金属有机化合物汽相淀积技术制备布拉格反射镜确定外延厚度的方法.pdf

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第卷第期光学精密工程１４１　Ｖｏｌ．１４Ｎｏ．１　　　　　　　　　　ＯｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ　　　　　　　　年月　ｐｇｇ２００６２Ｆｅｂ．２００６　　　　文章编号（）１００４９２４Ｘ２００６０１００５４０４　金属有机化合物汽相淀积技术制备布拉格反射镜确定外延厚度的方法盖红星，陈建新，邓军，廉鹏，俞波，李建军，韩军，沈光地　　　　（北京工业大学电控学院光电子技术实验室，北京１０００２２）摘要：外延膜层厚度的精确性对垂直腔面发射激光器（）是十分重要的。应用传输矩阵方法分析了厚度偏差对半ＶＣＳＥＬ导体布拉格反射镜（）反射谱的影响，并利用这种影响提出了一种金属有机化合物汽相淀积（）制备布拉格反ＤＢＲＭＯＣＶＤ射镜精确确定外延厚度的方法。据此，应用ＭＯＣＶＤ生长了９８０ｎｍＶＣＳＥＬ外延片，其反射谱中心波长为９８２ｎｍ。结果表明，应用这种方法能够实现材料厚度、系统生长参数的定标以及为的材料生长提供可靠的依据。ＭＯＣＶＤＶＣＳＥＬ关键词：金属有机化合物汽相淀积；布拉格反射镜；反射谱；膜厚测定　　中图分类号：文献标识码：Ｏ４８４．５Ａ　　犇犲狋犲狉犿犻狀犻狀犿犲狋犺狅犱狅犳狋犺犲狋犺犻犮犽狀犲狊狊狅犳狋犺犲犱犻狊狋狉犻犫狌狋犲犱犅狉犪犵犵犵狉犲犳犾犲犮狋狅狉狉狅狑狀犫犿犲狋犪犾狅狉犪狀犻犮犮犺犲犿犻犮犪犾狏犪狅狉犱犲狅狊犻狋狅狀犵狔犵狆狆，，，，，，，ＧＡＩＨｏｎｘｉｎＣＨＥＮＪｉａｎｘｉｎＤＥＮＧＪｕｎＬＩＡＮＰｅｎＹＵＢｏＬＩＪｉａｎｕｎＨＡＮＪｕｎＳＨＥＮＧｕａｎｄｉｇｇｇｊｇ（，犇犲犪狉狋犿犲狀狋狅犈犾犲犮狋狉犻犮犪犾犈狀犻狀犲犲狉犻狀犅犲犻犻狀犗狋狅犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犜犲犮犺狀狅犾狅犔犪犫狅狉犪狋狅狉狆犳犵犵犼犵狆犵狔