量子点垂直腔面发射激光器高频响应的优化设计.pdfVIP

量子点垂直腔面发射激光器高频响应的优化设计.pdf

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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ’ % %6 % , , , )NH 1’ CN 1% SG=OFBOT %6 ( ) !Q$%(%6’ % #$Q# :*8: 5;R+@*: +@C@*: %6 *UIA 1 5UT? 1 +NL 1 ! # $ 量子点垂直腔面发射激光器 ! 高频响应的优化设计! 彭红玲 韩 勤 杨晓红 牛智川 (中国科学院半导体研究所,北京 !#$ ) ( 年 月 日收到; 年 月 日收到修改稿) % ’ !’ % # ( 结合垂直腔面发射激光器( )原理以及量子点增益特点,计算了有源层 掺杂结构的量子点 的材 )*+,- . )*+,- 料增益和 带宽,发现 掺杂结构可以大大提高频率特性 结合 激射条件和阈值特性,分析了对 $ /0 . 1 )*+,- )*+,- 结构的要求;分析了分布参数对频率特性的影响,对其外部封装提出了要求 设计了高频率响应的含氧化限制层的 1 !2$ 3 量子点)*+,- 结构1 ! 关键词:量子点,垂直腔面发射激光器,微分增益, 带宽 $ /0 : , %’’ 4%’’5 6$%7 !2$ 3 光增益的 9B:? 基半导体材料主要有 ! 量子阱( )和自组织 量子点 !2 引 言 9B@AC:? 9B:? DE @A:? ( ) 量子阱可以提供比 大的材 D7 1 9B@AC:? @A9B:?5 [] [] 垂直腔面发射激光器( )因其自身特殊的 % $ )*+,- 料增益 ,但 的并入又会降低发光效率 ,难以激 C [] 结构,具有很

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