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国家纳米中心专题 纳米结构电学性质的静电力显微镜研究方法* 张冬冬 王 锐 蒋烨平 戚桂村 王 琛 裘晓辉昄 暋暋 暋 暋暋 暋暋 暋暋 暋 暋暋 (国家纳米科学中心 纳米表征研究室 北京 ) 暋 暋 暋100190 摘 要 纳米尺度的材料具有许多不同于宏观体材料的奇特的物理和化学特性 了解纳米结构的物性随材料尺寸 暋 暋暋 . , 及形状的变化关系 对于设计和合成具有特定功能的纳米材料有重要的指导意义 静电力显微镜技术为研究微纳米 . , 尺度下材料的电学特性提供了强有力的工具 文章介绍了这种测量技术的基本原理 并列举了几种在静电力显微镜 . , 、 、 基础上发展起来的纳米材料电学性质的表征方法 包括探针特征电容的标定 表面电荷密度测量 薄膜材料中载流子 , 密度测定等 这些实验方法扩展了静电力显微镜的应用领域 为深入研究纳米材料的性质和纳米器件的功能结构提 . 供了丰富的技术手段. , , , , 关键词 静电力显微镜 针尖特征电容 介电常数 表面电荷密度 载流子密度 暋暋 Electricalcharacterizationofnanostructuredmaterials usin electricforcemicrosco g py 昄 ZHANGDon Don暋暋WANGRui暋暋JIANGYePin暋暋QIGuiCun暋暋WANGChen暋暋QIUXiaoHui g g g 灢 灢 灢 灢 ( , , , ) NationalCenterorNanoscienceandTechnolo Laborator orNanocharacterization Beiin 100190 China f gy yf j g Abstract暋暋Nanostructuredmaterialsossessinterestin hsicalandchemicalroertieswhichmadiffer p gpy p p y sinificantlfromtheirmacroscoiccounterarts.Understandin thesizeandsha

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