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GaN基LED微显示器制备与应用技术研究.pdfVIP

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  • 2017-09-13 发布于重庆
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GaN基LED微显示器制备与应用技术研究.pdf

    GaN基LED微显示器的制备与应用技 术研究 刘立林（博士，副教授） 中山大学 物理科学与工程技术学院 光电材料与技术国家重点实验室 半导体照明系统研究中心 2 1500m clean room 外延 器件工艺 表征与测试 封装与应用 2 III-nitride Epitaxy Including 3 MOCVD and 1 MBE Available material systems: Characterization systems: GaN, AlN; HRXRD AlGaN,

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