喷涂工艺薄膜厚度模型构建与应用.pdfVIP

第39 卷 第3 期 电 子 科 技 大 学 学 报 Vol.39 No.3 20 10年5月 Journal of University of Electronic Science and Technology of China May 20 10 ·机械电子工程 · 喷涂工艺薄膜厚度模型的构建与应用 李 波，安建欣，徐利梅 ( 电子科技大学空天科学技术研究院 成都 610054) 【摘要】为研究12寸晶圆切割过程中喷涂工艺设备参数对保护性薄膜厚度的影响，提高设备调整效率和工艺质量，采用 均匀设计的实验方法，以薄膜在测试量块