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??本科毕业论文--微小电容测量电路 ?? 2007-07-09 17:00 标签:论文 　分类:流水账 1 绪论 1.1 本课题研究背景 在工、农业生产、科学研究、国防建设及国民经济的各部门中，经常需要检测各种参数和物理量，获取被测对象的定量信息，以便进行监视和控制，使设备或系统处于最佳运行状态，并保证生产的安全、经济及高质量。在现代科学研究和新产品设计中，为了掌握事物的规律性，人们必须测试许多参数，用以检验是否符合预期要求和事物的客观规律性[1]。 在被测物理量中，非电量占了绝大部分，例如压力、温度、湿度、流量、液位、力、应变、位移、速度、加速度、振幅等等。非电量测量可以通过各种对应的敏感元件，将被测物理量转换成与之有对应关系的电压、电流等，而后再通过对电压、电流的测量，得到被测物理量的大小。传感技术的发展为这类测量提供了新的方法和途径[2]。 电容式传感器是将被测量的变化转换成电容量变化的一种装置，实质上就是一个具有可变参数的电容器。 和其它传感器相比，电容式传感器具有温度稳定性好、结构简单、适应性强、动态响应好、分辨力高、工作可靠、易实现非接触测量、具有平均效应等优点，并能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作[3]。电容传感器广泛的应用于多种检测系统中，用以测量诸如液位、压力、位移、加速度等物理量。 电容式传感器也存在不足之处，比如输出阻抗高、负载能力差、寄生电容影响大等。上述不足直接导致其测量电路复杂的缺点。但随着材料、工艺、电子技术，特别是集成电路的高速发展，电容式传感器的优点得到发扬，而它所存在的易受干扰和分布电容影响等缺点不断得以克服。电容式传感器成为一种大有发展前途的传感器[4]。 1.2 本课题研究目的和意义 由于电容传感器的广泛采用，不可避免地要涉及到电容的测量问题。对感应信号的提取与非电量参数测量的成功与否有着密切关系。 电容式传感器将被测非电量信号变换成电容变化，但电容值不能直接用现有的显示仪器来显示，更难于传输，必须借助测量电路将电容变化量转换为电压、电流或频率信号，以便显示、记录和传输。对于电容/电压转换电路，如何将电容变化量准确地转换为电压信号至关重要，它直接关系到后续测量的准确性[5]。 在测量仪器设计过程中，往往由于体积或测量环境的制约，电容传感器电容的变化量一般都较小，往往仅有几个或几十个皮法的大小，属于微弱电容的检测[6,7]。在某些场合, 例如电容层析成像系统中，传感电容的变化量小至fF级[8]。在现阶段测量微小电容主要有以下几方面的困难[9,10]：①杂散电容往往要比被测电容高的多，且杂散电容会随温度、结构、位置、内外电场分布及器件的选取等诸多因素而变化，被测量常被淹没在干扰信号中；②测量电路一般要使用一定量的电子开关, 但电子开关的电荷注入效应对测量系统的影响难以消除；③由于测量对象的快速多变性, 需要较高的数据采集速度, 但采集速度和降低噪声的矛盾难以解决, 滤波器的存在成为提高数据采集速度的瓶颈等问题。因此，要考虑引线电容、电路设计的寄生电容以及环境变化的影响等因素，使电容传感器调理电路设计相当复杂，并且由于分立元件过多，也将影响电容的测量精度[11,12]。 从工业角度而言，微小电容测量电路须满足动态范围大、测量灵敏度高、低噪声、抗杂散等要求。 1.3 本课题的任务和内容 本课题要求设计一种应用于电容式传感器的微小电容测量电路。 针对电容传感器的电容变化量相对小的特点，我们设计了基于脉冲调宽原理的微小电容测量电路。 本课题内容： 第一章 介绍了本课题研究问题的背景，以及课题研究的目的和意义。 第二章 论述了电容式传感器的相关理论。 第三章 介绍了电容式传感器常用的电容/电压（C/V）转换电路。 第四章 介绍了几种微小电容测量方法，并对其优、缺点进行了阐述。 第五章 设计了基于脉冲调宽原理的微小电容测量电路，并对电路进行了理论分析、误差分析。 第六章 具体论述了影响电容式传感器精度的因素及提高精度的措施。 第七章 总结了全文的工作并提出了下一步的工作建议。 2 电容式传感器 2.1 电容式传感器工作原理 图2.1 平板电容器 电容式传感器的基本原理可以用图2.1所示平板电容器来说明[4]。当忽略边缘效应时，其电容 为 = = （2.1） 式中 ———极板相对覆盖面积； ———极板间距离； ———相对介电常数； ———真空介电常数， =8.85×10-12F/m； ———电容极板间介质的介电常数。 由式（2.1）可知，当 、 和 中的某一项或某几项变化时，就改变了电容 。 的变化，在交流工作时，就改变了容抗 ，从而使输出电压或电流得以变化。 和 的变化可以反映线位移或角位移的变化，也可以间接反映弹力、压力等变化； 的变化，则可以反映液面高度、材料的湿度等的变化。 2.2