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2017-09-12 发布于重庆
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面向IC测试技术的精密运动平台的设计.pdf

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设计与计算 DesignandCalculation 面向IC测试技术的精密运动平台的设计杨超, 胡泓 (哈尔滨工业大学深圳研究生院先进电子装备制造技术实验室,广东深圳 ) 518055 文中主要介绍了一个能用于测试设备的高速高精度的精密运动平台。该平台是芯片测试设备———全自动探摘要: IC 针台关键部件,它可以实现、、、四个方向的运动。对平台进行了整体结构设计和电气硬件搭建,并对其传动精 XYZ θ 度进行了校核计算。通过大量的实验分析其点对点控制的运动和定位精度,证明其精度和可靠性完全满足芯片测试的要求。精密运动平台;滚珠丝杠;传动精度;定位误差关键词: 中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( ) TN407 A 1002-2333200605-0052-03 DesignoftheHigh-PrecisionMotionPlatformforICTesting , YANGChao HUHong ( , ) MicroelectronicsManufacturingandMechatronicsLaboratoryShenzhenGraduateSchool,HarbinInstituteofTechnology,Shenzhen518055,China : AbstractInthispaper,ahigh-PrecisionmotionplatformisdesignedforICtestingequipment-autoprober.Thehigh- Precisionmotionplatformisakeypartoftheprober.Itcanmovein 、、、 fourdirections.Wehavemadeamassive XYZ θ structuredesignfortheplatformandbuiltanelectrichardwaresystem.Andthenwecheckedthetransmissionaccuracyof thehigh-Precisionmotionplatform.Wedomanyexperimentsondifferentplatformtoanalyzethepositioningerrorinpoint topointmotioncontrolsystem.Wecanlearnbyexperimentthatthepositioningaccuracyandreliabilitycanmeetthe demandofthewafertesting. :high-precisionmotionplatform;ballscrew;transmissionaccuracypositioningerrors Keywords 1 引言中间测试设备,在国内外已有较长时间的研究和应用。随集成电路 ( )芯片封装、测试是集着集成度的提高及硅片直径的不断增大,要求探针台 ICIntegratedCircuit IC 成电路制造过程的一个重要环节。随着芯片加工工艺日能够实现自动化检测,达到更高分辨率、更高精度和更大趋繁难,以及人们对集成电路品质的日益重视,测试业已尺寸的探测能力。为适应芯片测试的要求