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.. .. 碳纳米管及低功耗纳米器件电气特征分析 应用指南 .. .. 碳纳米管及低功耗纳米器件电气特征分析 应用产业：纳米 客户面临的挑战： 应用行业：纳米材料 纳米器件 1. 器件尺寸不断减小，连接与探测越发的困难 2. 精密的电流测量能力从pA向fA级迈进 且量程需要覆 盖安培级至飞安级。 3. 精密的电压驱动能力，且驱动能力从几百伏到几十个 微伏 4. 微尺寸下偏移电压、射频干扰、热电电压，器件的焦 耳效应的控制 5. 精密的阻抗测量 6. 更宽幅度的偏置电压以及精密的电容(C-V)测量 7. 器件的瞬态特性测量即脉冲激励下的响应 8. 精密且复杂的系统连接，静态(DC)、动态（AC）、瞬 态 (脉冲) 等不同激励下的系统响应。 测试需求： 1. 直流 I-V 特性 2. 交流 C-V 特性 3. 瞬态特征 4. 阻抗测量 5. 微弱电信号测量 如：小电压，小电流信号测量 碳纳米管 源极 漏极 TiO2 纳米管 (德州大学 Dallas 分校) 二氧化硅 硅基 - 门极 源表 3 源表 1 源表 2 (接地单元) (阶跃电压) (扫电压 测电流) 2 .. .. 碳纳米管及低功耗纳米器件电气特征分析 Keithley 吉时利测试方案及优势： 4200SCS/F 系统 KITE 软件纳米器件库纳米管调试截图 1. 方案： a) 4200-SCS/F 配置 SMU CVU PMU 模块 + 交直流前 置放大器 + 通道切换开关 + 纳米探针台用于 I-V/C- V/pulse 测量 b) 6221+2182A 用于精密电阻测量 c) 6430用于电荷数量和极低电流测量分辨率可达10-17 级 2. 特点： a) 与纳米探针台完美连接保障您对纳米尺寸的器件的测量， 配有 Guard 技术的三同轴超低噪声电缆以及转接头 b) 世界顶级的微弱电压，电流测量能力助您轻松完成飞 安级测试。 c) 简易的开路，短路校准，德尔塔方式测量，以及脉冲 激励方式帮助您轻松客户系统主要的误差来源 d) 更宽幅度的偏置电压允许您测量更多的材料种类(Si ZnO CNT etc.) e) 通过交直流前置放大器不但可以进一步提升仪器测量 精度，前置开关更可以是您在静态、动态、瞬态测量 时，无序重新连线，