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第40卷 第1期 稀有金属材料与工程 、，01．40．No．1 RAREMETAL AND 2011笠 1月 MATERIALSENGINEERING 2011 January 基于电子理论Ni基体上电沉积Cu膜内应力研究 任凤章1，曹 轲1，郑茂盛2，马战红1，苏娟华1田保红1 (1．河南科技大学，河南洛阳471003) (2．西北大学，陕西西安710069) 摘要：采用电沉积法在Ni基体上制备Cu膜。悬臂梁法在线测量沉积Cu膜后的Ni基片挠度，由测得的挠度值计算 出Cu膜内的平均内应力和分布内应力。结果表明，Cu膜内的平均内应力和分布内应力均随膜厚的增加而急剧减小。 调整而引起的Cu膜内平均内应力作出了初步估算。结果表明，理论估算结果与实验结果较接近。