可见光下3维针孔的衍射波面分析.pdfVIP

第36卷 第3期 激 光 技 术 Voj．36．No．3 2012年 5月 LASER TECHNOLOGY May，2012 文章编号：1001—3806(2012)03—0382．04 可见光下 3维针孔的衍射波面分析 王瑞林 ，邢廷文 ，谢伟民 (1．中国科学院光电技术研究所 ，成都610209；2．中国科学院 研究生院，北京 100039) 摘要：针孔是相移点衍射干涉仪中的关键元件。为了探究针孑L的尺寸、制造针孔的材料以及材料的厚度对衍射波 面质量的影响，确定i~…x,-射干涉仪的测量精度，采用时域有限差分法分析获得了近场数据，并利用瑞利一索末菲矢量衍射 理论将近场数据外推得到远场数据，通过远场处理数据分别对TM和TE偏振光入射针孑L时，针孔的大小、材料以及材料 厚度对衍射波波面质量的影响进行了理论分析和仿真模拟 ，得到了相应变化曲线图。结果表明，