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单振子双腔体无阀压电泵结构设计与机理分析.pdfVIP

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  • 2017-09-12 发布于重庆
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单振子双腔体无阀压电泵结构设计与机理分析.pdf

    第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ ７ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．７ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ ７ Ｊｕｌ．２００７ 　 　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７０７１０４４０５ 　 单振子双腔

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