一种电容式闭环微加速度计系统研究.pdfVIP

2011年 第 32卷 第4期 中 北 大 学 学 报 (自然科学版) Vo1．32 No．4 2011 (总第 138期 ) JOURNALOFNORTHUNIVERSITYOFCHINA(NATURALSCIENCEEDITION) (Sum No．138) 文章编号：1673—3193(2011)04—0502—05 一 种电容式闭环微加速度计系统研究 陈伟平 ，陈晓亮，郭玉刚，刘晓为 (哈尔滨工业 大学 MEMS中心，黑龙江 哈尔滨 150001) 摘 要 ： 基于 SOG(SilicononGlass)工艺设计 了一种新型电容式加速度传感器结构，分析 了该结构的检 测和反馈原理．为 了提高闭环微加速度传感器 的性能，更好地实现 闭环控制调节作用 ，对传感器系统进行 了 研究．在反馈系统 中引入 PID控制器 ，并建立 了SIMIINK系统模 型，分析了系统 闭环传递函数以及控制参 数对传感器系统的影响．仿真结果表明：PID控制器可以很好地改善系统的频率响应，增加系统带宽，调节 系统 的阻尼 ，减小系统的响应时间和调节 时间，大大提高了闭环加速度计 的性能． 关键词 ： MEMS；加速度计 ；闭环系统 ；PID控制器 中图分类号 ： TP242 文献标识码 ：A doi：10．3969／j．issn．1673—3193．2011．04．022 Studyon Closed-Loop System ofaCapacitiveM icro-Accelerometer CHEN W eiping，CHEN Xiaoliang，GUO Yu—gang，LIU Xiao—wei (MEMSCenter，HarBinInstituteofTechnology，HarbinI50001，China) Abstract：A closed—loopaccelerometerbaseduponSOG (SilicononGlass)technology，and itscapacitive sensingelementweredescribed．Sensingandfeedback principlewereanalyzed．Inordertoimprovethe performanceofthemicro—accelerometerandobtainagood controlofthesystem ，aSIMULINK model wasestablishedandtheclosed—looptransferfunctionwasanalyzed．Infeedbacksystem ，aPID controller wasused．Theeffectsofthecontrollerparametersweresimulated，andthesimulatedresultsshow that thePID controllercanimprovethefrequencyresponse，broadthebandwidth，optim izethedamping，and decreasetheresponsetim eandrisetim e． Keywords：M EM S；accelerometer；closed—loop system ；PID controller 随着硅微加工技术的不断成熟 ，硅加速度计已经在传感器市场 占据着越来越重要的地位，小型化、 智能化 、集成化 已成为加速度传感器的发展方向，其应用也逐步扩展到各个领域L1]．十几年来 ，尽管在微 加速度设计和制作工艺等方面进行了很多有意义的研究 ]，但在系统控制方面的研究还是 比较有限 的L5]．典型的电容式加速度传感器结构是 由两个固定电极和一个可动电极组成，可动 电极作为公共极板 与两固定电极形成一对差分电容．当有加速度作用时，可动极板就会偏离平衡位置 ，从而使差分电容产 生与加速度成 比例的不平衡输 出，通过检测此输出即可测得加速度的大小．这种开环加速度传感器结构 比较简单 ，但在系统带宽 、线性度和动态范 围等方面受到很大限制 ．一种有效的解决办法就是应用 闭环 控制系统 ，在固定极板上加一反馈力，使其保持在平衡位置，通过检测反馈力即可测得加速度的