三轴离子束抛光系统驻留时间算法.pdfVIP

第41卷第 5期 红外与激光工程 2012年 5月 Vo1．41No．5 InrfaredandLaserEngineering M av．2012 — — 三轴离子束抛光系统驻留时间算法 李 云 一，邢廷文 ，许嘉俊 1,2，徐富超 1,2，倪 磊 ，z (1．中国科学院光电技术研究所，四川 成都 610209；2．中国科学院研究生院，北京 100049) 摘 要 ：在光学离子束抛光_T-艺中，驻 留时间求解是一个关键 问题 。多数驻留时间求解算法要求离子 束在工件表面的材料去除速率在加工过程 中保持不变。然而，离子束在工件表面的材料去除速率与 离子束入射角度有关。为此，在加工曲面工件时，通常采用精密五轴联动运动平台对离子源的运动及 姿态进行实时控制 ，使得在加工曲面工件时离子柬相对工件表面的入射角度始终保持不变，从而保证 去除函数在整个离子束抛光过程中保持不变。提 出了一种基于仿真加工的迭代驻 留时间求解算法， 在求解驻留时间的过程中考虑到入射角度带来的去除速率变化，从而使得在离子束抛光系统中只需 采用三轴运动控制平台对离子源的运动进行控制，而不再需要对离子源的姿态进行实时控制。入射 角度与去除速率曲线可以事先通过实验测得 。与五轴运动平台相 比，三轴平台更稳定、经济且易于控 制。仿真结果表 明，算法在三轴离子束抛光系统中具有较好 的适用性 。 关键词 ：驻 留时间； 三轴 系统 ； 离子束抛光 ； 光学加工 中图分类号 ：0439 文献标志码：A 文章编号：l007—2276(20l2)05—1300-06 Dwelltimealgorithm forthe3-axisionbeam figuring system LiYun ，XingTingwen，XuJiajun ，XuFuchao一，NiLei，。 (1．InstituteofOpticsandElectronics，ChineseAcademyofSciences，Chengdu610209，China； 2．GraduateUniversityoftheChineseAcademyofSciences，Bei：iing100049，China) Abstract：Thedwelltime solution isakey problem in the ion beam figuring process．Mostdwelltime solutionalgorihtmsrequirethathtematerialremovalrateinhteionbeam figuringprocessshouldbekept constant．However，hte materialremovalrate onhteworkpieceofhteion bema isusually related tothe incidentangleoftheion beam ．Toovercomehtisproblem ，theion sourceisusually controlled by a5一 axismotion system to keep the incident angle constanttowards hte surface ofhte workpiece when figuring acurvesurface．Aniteration dwelltime algorithm based on simulation machiningwasproposed． Duetothe influence