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张勤勇 等：NdCl3 镀液浓度对电镀CoNdNiMnP 永磁薄膜阵列磁性能的影响 715 NdCl3 镀液浓度对电镀CoNdNiMnP 永磁薄膜 阵列磁性能的影响* 1 2 2 2 2 张勤勇 ，蒋洪川 ，张万里 ，张金平 ，杨仕清 （1.华西大学 材料系，四川 成都 610039 ；2. 电子科技大学 微电子与固体电子学院，四川 成都 610054 ） 1 摘 要：基于轻稀土元素-Nd 与过渡金属元素-Co 之 （MEMS ）的磁性微致动器，如光开关、微泵、微阀 间的铁磁耦合作用提高电镀CoNiMnP 永磁薄膜阵列 [3,4] 以及扫描仪等 。 的磁性能，在电镀时引入稀土Nd 元素进入CoNiMnP 近年来，