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维普资讯 第32卷 第4期 低 温 与 超 导 VO1．32 NO．4 2004年 11月 CRY0GENICSANDSUPERCoNDUCTIVITY Nov．2004 一 种低温制冷机用氦压缩机的研究 陈家富 武义峰 严善仓 丁先庚 罗仁智 。 (中国电子科技集团公司第十六研究所，合肥，230043) 摘要：介绍了低温制冷机系统中氦压缩机的工作原理。通过对一般压机泵的研究，设计了专用的氦压缩机泵 ，引用了先进 的热交换及过滤技术，解决了该类压缩机的滤油问题，延长了其使用寿命，提高了制冷机的可靠性。 关键词：氦压缩机 低温制冷机 换热器 油分离 1 引言 随着集成电路制造业在我国的日益发展，以低温泵为主要用途的低温制冷机的应用已日益广泛。而氦压 缩机作为其中的主要组成部分，多年来，一直未受到低温界和真空界的广泛关注，从而大大影响了我国低温 制冷机的实际应用。国际上，其它国家对氦压缩机的研究主要有两种做法