双折射雕塑薄膜的研究进展.pdfVIP

维普资讯 第34卷 第2期 人 工 晶 体 学 报 VO1．34 NO．2 2005年4月 JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS April，2005 双折射雕塑薄膜的研究进展 王素梅 一，王建国 ，付小勇 ，范正修 ，贺洪波 ，邵建达 (1．中国科学院上海光学精密机械研究所，t海 201800；2．中国科学院研究生院，北京 100039) 摘要：倾斜沉积技术制备的雕塑薄膜是一种新型的、具有各向异性结构的薄膜材料。根据基片旋转方式的不同，可 得到螺旋状、S形状、C形状、弯曲柱状等不同结构的薄膜，并且出现了晶体中的双折射现象。雕塑薄膜可以实现各 向同性薄膜无法实现的光学性质，为光学薄膜的设计与制备开辟了新的途径。本文综述了雕塑薄膜的制备方法， 分析了雕塑薄膜的微结构与双折射特性，并阐述了其在光学领域内的应用潜力。 关键词：雕塑薄膜；倾斜沉积；双折射；各向异性 中图分类号：0484 文献标识码：A 文章编号：1000-985X(2005)02-0306-07 ResearchProgressinBirefringentSculpturedThinFilm WANGSu—mei’一 WANGJian—guo一‘，FUXiao—yong一‘， ， FAN Zheng—xiu ‘HEHong—bo ‘ ， ，SHAOJian—da (1．ShanghaiInstituteofOpticsantiFineMechanics，ChineseAcademyofSciences，Shanghai201800，China 2．GraduateSchoolofChineseAtrademyofSciences，Beijing100039，China) (ReceivedlNovember2004) Abstract：Sculpturedthinfilm grownbyglancingangledepositiontechniqueisanewtypeofengineered columnarthin filmswith anisotropy．Accordingto differentrotation waysofthesubstrate，different shapes，such asspiralshape，S-shape，C—shape，zig—zag shape etc．，can be formed． In addition， birefringenceusuallyappearinginthecrystaloccursinthesculpturedthinfilms．Anisotropicsculptured thinfilmscanhaveopticalpropertiesthattheisotropicthinfilm can’tpossess．Thisopensupanewway todesign and prepare the opticalfilms．The preparation methods，microstructuresand birefringence propertiesofsculpturedthinfilmsweresummarized，andtheirapplicationpotentialityintheopticalfield wasalsopresentedinthispaper． Keywords：sculpturedthinfilms；gl