TiO_2薄膜成分和结构分析及其对折射率的影响.pdfVIP

第38卷 增刊2 稀有金属材料与工程 V01．38，Suppl．2 RARE MATERIALS December 2009年12月 METAL ANDENGINEERING 2009 Ti02薄膜成分和结构分析及其对折射率的影响 刘成士1，伍登学19赵利利1，廖志君1，卢铁城1，2 (1．四J|l大学辐射物理与技术国家教育部重点实验室，四川成都610064) (2．中科院国际材料中心，辽宁沈阳110015) 摘要：在硅衬底上利用电子柬蒸发沉积了Ti02薄膜，利用椭圆偏振仪测量了不同沉积温度下的Ti02薄膜的折射率， 发现其折射率随着沉积温度的升高而升高。利用x射线衍射(XRD)仪对这些薄膜的结构进行表征，发现折射率高的样 品其结晶化程度也高。利用X射线光电子能谱(xPs)和傅立叶红外吸收谱(FT-IR)相结合的方法对薄膜的成分进行分析， 发现内部存在低价态的钛氧化物，使薄