SJT 11259-2001 制冷机低温泵总规范.pdfVIP

ICS 31-550 L97 各鑫县:9880-2002 中华人民共和国电子行业标准 SJ/t 11259-2001 制冷机低温泵总规范 General specification for refrigerator cryopump 2002-01-31发布 2002-05-01实施 中华人民共和国信息产业部 发布 标准分享网 免费下载 前 言 本规范参照GB 7774. GB 7776. GB/T 6070. GB/1 3163制定，可用于指导该类产品的研制与 生产。 本规范由中国电子技术标准化研究所(CESI }归口。 本规范起草单位:信息产业部合肥低温电子研究所。 本规范主要起草人:柳汉莹、赵东辉、徐友平、严善仓、田 渠。 标准分享网 免费下载 中华 人民共 和 国电子行业标 准 制冷机低温泵总规范 SJ/T 11259-2001 General specification for refrigerator cryopump 范围 本规范规定了制冷机低温泵的要求、试验方法、质量评定程序及标志、包装、运输、贮存。 本规范适用于制冷机低温泵的研制生产。 2 引用标准 下列标准所包含的条文，通过在本规范中引用而构成为本规范的条文。本规范出版时，所示版 本均为有效。所有标准都会被修订，使用本规范的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。 GB 191-2000包装储运图示标志 GB/T 3163-93真空技术术语 GB 5080.7-86设备可靠性试验 恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验 方案 GB/T 6070-1995真空法兰 GB 7774-87涡轮分子泵 性能测试方法 GB 7776-87 蒸汽流直中凳 凳浦饭流率测试方法 3 定义 本规范采用下列定义。 3. 1 低温泵 cryopump 利用低温表面搜集气体的真空泵。 3.2制冷机低温泵 refrigerator cryopump 用封闭循环制冷机提供冷源的低温泵。 3.3降温时间 cooldown time 从室温启动制冷机至冷头温度达到20 K时所需的时间。 3.4极限压力 ultimate pressure 泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压力。 3.5 抽气速率 volume flow rate 体积流率 当泵装有标准罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的 平衡压力之比。简称泵的抽速。 3.6抽气容量 capacity 中华人民共和国信息产业部2002-01-31批准 2002-05-01实施 I 标准分享网 免费下载 SJ/T 11259-2001 制冷机低温泵的抽速由最大下降至抽速 (Smax/e)时所抽的气体量，又称排气童。 分类与命名 4.1 命名 制冷机低温泵系列产品型号命名由以下部分组成: 荃本型号 辅助型号 国 一 目国 国代表制冷机低温泵名称，以构成名称的两个关键字(低温、制冷)的汉语拼音第一个字母 DZ表示。 匕