微波氢等离子体的特性.pdfVIP

第 31卷 第 8期 物 理 实 验 V0I．31 No．8 2011年 8月 PHYSICSEXPERIMENTATION Aug．2011 微波氢等离子体的特性 郑晓毅 ，徐 伟 实 验 教 学 (广州大学 物理与 电子工程学院，广东 广州 510006) 摘 要：在MPCVD装置中，通过调节微波功率和反应腔压强，使用高分辨率多道光谱仪采集氢气的H 线．由谱线 的多普勒展宽计算得到氢等离子体中的离子温度．结果显示 ，随着微波功率的增大，离子温度会先升高后降低；随着反 应压强的增大，离子温度也先升高后降低．这说明在 MPCVD装置中，可以通过调节装置，得到最佳微波能量吸收点． 关键词：氢等离子体；微波放 电；多普勒展宽 ；离子温度 中图分类号：053；0433．4 文献标识码 ：A 文章编号：1005—4642(2011)08—0001