磁控溅射在镁合金表面处理中的应用.pdfVIP

维普资讯 铸造技术 Vo1．27NO．4 F0UNDRY TECHN0L0GY Apr．2006 磁控溅射在镁合金表面处理中的应用 王雪敏 ，曾小勤，吴国松 ，姚寿山 (上海交通大学轻合金精密成型国家工程中心，上海 200030) 摘要：采用磁控溅射制备的合金表面膜层具有防腐蚀性能优异、耐磨性强等优点．其作为镁合金表面处理技术具有 良好的发 展趋势。简要介绍了磁控溅射的基本原理及其在镁合金表面处理中的一些应用，并着重给出了反应磁控溅射 “Berg”模型的简 化计算方法．最后对 国内外磁控溅射的最新技术 以及应用于镁合金表面处理的趋势进行 了展望 。 关键词 ：磁控溅射 ；镁合金 ；表面处理 中圈分类号 ：TN305．8；TG146．2 2 文献标识码 ：A 文章编号 ：1000—8365{2006)04—0412—04 ApplicationsofMagnetronSputteringonMagnesium AlloysSurfaceTreatment WANG Xue-m in，ZENG Xiao-qin，W U Guo-song，YAO Shou-shan (StateKeyLaboratoryofMetalM atrixComposite，ShanghaiJiaoTongUniversity，Shanghai200030，China) Abstract：Thecoatingsdepositedbymagnetronsputteringtechnologyhavegoodcorrosionandwear resistance．Thistechnique showsoptimistic developmenttrend in the field ofmagnesium alloys surfacetreatment．Thebasicprincipleofmagnetronsputteringtechnologyand itsrecentapplication inmagnesium alloyssurfacetreatmentarebrieflyreviewed．Especially，thesimplifiedcalculationof “Berg’Smodel” is introduced．FinaIly．a prospectforthe new technique and trend ofmagnetron sputteringonmagnesium alloyssurfacetreatmentiSalsogiven． Keyw ords：Magnetronsputtering；Magnesium alloys；Surfacetreatment 镁合金的耐蚀性差极大地限制了它在各个领域中 结构材料使用的需要 ，因此在这方面还需要进一步研 的应用，其耐蚀性差 的主要原 因是对 电偶腐蚀很敏 究。本文简要叙述了磁控溅射的基本原理 ，对直流磁 感[1]。目前 ，提高镁合金耐蚀性 的研究主要集中在 2 控溅射 、射频磁控溅射以及反应磁控溅射的工艺过程 个方面，首先是将镁合金中如铁 、镍 、铜等杂质的含量 进行简要介绍，并着重给 出了利用 mathematics程序 降低到某一域值 ，防止产生电偶腐蚀的条件 ；其次是在 简化计算反应磁控溅射 “Berg”模型[9]的部分结果。最 镁合金的表面形成一层保护性的膜层，形成的膜层应 后简要综述了近年来国内外磁控溅射技术的最新进展 具有均匀、无孔隙、自我修复能力和与基体结合 良好才 和应用于镁合金表面处理的趋势 ，这些新技术的出现 ， 能有效隔离基体与外界环境 的接触。 目前 ，已经有多 将为提高镁合金表面保护膜层的性能提供更强有力的 种方法应用于镁合金的表面