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氮化铝晶针尺寸效应的拉曼散射研究.pdf

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氮化铝晶针尺寸效应的拉曼散射研究 郑伟1武红磊1李发帝2郑瑞生1 1深圳大学光电子学研究所,深圳,5180602中国科学院固体物理研究所,合肥,230031 摘要:利用拉曼散射的方法研究了AlN晶针在不同直径 (9.5tm≤ d≤ 45.9μm)处光学声子E21、 A1(TO)、E22、E1(TO)和E1(LO) 的振动行为。因为拉曼信号的散射截面会随着AIN晶针直径的增加而增加,使得拉曼探测信号的强度会随着AIN晶针直径的增 加而增强。研究发现随着AIN晶针直径的增加A1(TO)模式的振动频率有明显的增加,而E21、A1(TO)、E22、E1(TD)和E1(LO)模 式的振动频率没有明显的变化;另外,还发现随着AIN晶针直径的增加A1(TO)模式的半峰宽先增加后减小,而E21、A1(TO)、 E22、E1(TO)和E1(LO)模式的半峰宽没有明显变化。 关t词:AlN晶针;拉曼散射;声子 O73l A DiameterdependenceRamanscatteringstudyofhexagonalAlN whisker WeiZheng1HongLeiWu1FaDiLi2RuiShengZheng1 1InstituteofOptoelectronics,ShenshenUniversity,Shenzhen,518060,China 2InstituteofSolidStatePhysics,ChineseAcademyofSciences,Hefei,230031,China Abstract:Micro-RamanstudiesarereportedfortheE21,A1(TO),E22,E1(TO),andE2(LO)phononmodesinhexagonalAlNwhiskerat differentdiametersfrom9.5to45.9μm.IntensityofRamanspectraincreasewiththeincreasingoftheAlNwhiskerdiameter,becausethe Ramanscatteringcross-seetionwillexpandingwithdiameterincrease.TheE21,A1(TO),E22,E1(TO),andE1(LO)Ramanfrequenciesall havealittleshiftwithincreasingofdiameter,however,A1(TO)Ramanfrequencyhasarelativelylagerblue-shift.TheE21,A1(TO),E22, E1(TO),andE1(LO)phononFWHMofhexagonalAlNwhiskeratdifferentwidthsategiven.ThechangeofA1(TO)modeFWHMisalso differentfromE21,E22,E1(TO),andE1(LO)modes. Keywords:AlNwhisker;Ramanscattering;Phonon 第十七一童■化寺蕾牛·—。俸、破渡l件和光电-件拳术◆议 衰减和红移的性质…l。D.Y X射线衍射谱证明了A1N晶针是纤锌矿结 Song等人也使 构,且结晶质量较好。 用拉曼散射方法得到了AIN体材料中E22和 A】(LO)声子的振动行为(13K到375K)1121。 拉曼散射光谱除了能用于研究材料中的振动 模式外还能用于研究材料中的结构变化和应 ,’ 力变化。例如可以通过E22声子峰值的移动来 j i 、.一 研究GaN薄膜内的横向应力分布113,141。在本

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