MEMS压力与加速度传感器特征与应用吴星华应用于工业、军事、汽车.docxVIP

MEMS压力与加速度传感器特征与应用?吴星华?应用于工业、军事、汽车制造、仪器仪表等领域的微传感器已经开始大规模进入消费类电子产品市场，低成本、小尺寸、低功耗、高性能的传感器已掀起消费电子产品新的设计和消费浪潮。本文主要介绍如今MEMS传感器在汽车和消费类电子工业应用中不断增长，值此本文主要对其结构特征与应用作分析说明。当今所指的MEMS(微机电系统)就是在一个硅基板上集成了机械和电子元器件的微小机构。通过对电子部分使用半导体工艺和对机械部分使用微机械工艺将其或者直接蚀刻到一片晶圆中，或者增加新的结构层来制作MEMS产品。如用MEMS做成的传感器就是一种典例。为此将以MEMS压力与加速度传感器特征与应用作重点说明。1、MEMS传感器的基本架构当今用MEMS做成的传感器包括压力、加速度、速度、力矩传感器等。如MEMS加速度传感器，其工作原理是通过一个质量摆敏感加速度，并将其转换为电信号，此信号经电子线路相敏放大后反馈到力矩器，力矩器产生反馈力矩与加速度产生的惯性力矩平衡。如典型Freescale的MMA62系列MEMS加速度传感器基本架构见图1所示。图1对于消费电子产品而言，MEMS传感器专为终端产品和嵌入式系统而设计，可以满足它们对倾斜、运动、定位、冲击和振动等微小变化的测量需求，从而能够满足开发商的广泛应用需求。2、TPMS的MEMS传感器特征与应用汽车胎压MEMS传感器。是交通车辆安装压力传感器，成为汽车轮胎压力实时监视系统TPMS(Tire Pres-sure Monitoring System)。主要用于在汽车行驶时实时地对轮胎气压进行自动监测，对轮胎漏气和低气压进行报警，要求传感器在检测到轮胎充气不足时，在二十分钟内向司机发出警告。2.1 TPMS的MEMS传感器特征TPMS使用的传感器十分细小轻巧、功能要求高，因此只能用MEMS技术来设计与制造。目前TPMS使用的MEMS传感器主要有二大类，即硅压阻式传感器以及硅集成电容式传感器智能传感器都包含了压力传感器和加速度计，压力传感器主要用来测量轮胎的压力变化，加速度传感器利用其质量块对运动的敏感性，实现汽车移动实时开机，进入系统自检、自动唤醒，汽车高速行驶时按运动速度自动智能确定检测时间周期，用软件设定安全期、敏感期和危险期，以逐渐缩短巡回检测周期和提高预警能力、节省电能等功能。2.2 MEMS传感器在TPMS系统中的应用MEMS传感器是通过轮胎压力监测模块在TPMS系统中应用。这是由于汽车轮胎现在大多都是没有内胎的真空子午胎，因此，将TPMS的轮胎压力监测模块安装在轮胎里十分方便和容易。而轮胎压力监测模块由五个部分组成见(图2所示)。图2图2中的MEMS传感器包括有压力、温度与加速度传感器。它与电池电压检测、内部时钟和一个包含模数转换器(ADC)、取样／保持(S／H)、SPI口、校准、数据管理、ID码电路组合成一个TPMS智能传感器(如SP12型--Infineon sensoNor公司产)并与信号处理的16位单片机(MCU)，RF射频发射芯片及锂电池、天线一起构成汽车轮胎压力监视模块，可满足-40℃到+125℃的使用温度范围。而TPMS系统主要有二个部分组成：安装在汽车轮胎上的远程轮胎压力监测模块和安装在汽车驾驶台上的中央监视器(LCD／LED显示器)，见图3能所示。图3图3为直接式基于LIN总线的TPMS方案示意图。而实用汽车轮胎压力实时监视系统（TPMS）是由与轮胎阀一体的4个讯号发射器、收讯天线、收讯器及讯号显示仪四类部件组成的。直接安装在每个轮胎里测量轮胎压力和温度模块，将测量得到的信号调制后通过高频无线电波(RF)发射出去。一辆轿车或面包车TPMS系统有4个TPMS监测模块，一辆卡车有8-36个TPMS监测模块。中央监视器接收TPMS监测模块发射的信号，将各个轮胎的压力和温度数据显示在屏幕上，供驾驶者参考。如果轮胎的压力或温度出现异常，中央监视器根据异常情况，发出报警信号，提醒驾驶者采取必要的措施。2.3轮胎内压力传感IC与发送IC合成的模块与芯片选择*轮胎内的压力传感IC与发送IC合成的模块由于轮胎内的压力传感IC与发送IC合成的模块都放在轮胎内，所以对IC的要求特别高，一般有如下要求：工作温度-40℃—125℃，短时间内达150℃；低功耗来保持电池寿命；能承受2000G(250kmh轮胎转动时的离心力；传感器能保持长期的稳定；IC体积少，重量轻；带有压力与温度和电压检测。图4左虚线框是基于轮胎内的压力传感IC与发送IC合成的模块示意结构图。图4其中压力传感器IC是一款集成了压力、温度、电压检测传感器、LF、MCU的IC。而发送IC是RF发射芯片系列。图4左虚线框为轮胎内的压力传感器IC和发送IC为freescale公司的Mpxy8020A6或Mpxy8