薄膜内杂质分布的分形特征.pdfVIP

第 33 卷 　第 1 期 中　 国 　激 　光 Vol . 33 , No . 1 　 2006 年 1 月 C H IN ESE J OU RN AL O F L A SER S J anuary , 2006 　 文章编号 :(2006) 0 10 11105 　　 薄膜内杂质分布的分形特征 1 ,2 1 1 夏志林 , 范正修 , 邵建达 ( 1 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海 20 1800 ;2 中国科学院研究生院 , 北京 100039) 摘要 　薄膜中总会存在一些杂质或者缺陷 ,杂质和缺陷密度的有限性导致了薄膜破坏的概率性 。提出了不同尺寸 杂质和缺陷分布的分形特征 ,分析了薄膜破坏概率与辐照激光功率密度的关系 ,计算结果与实验结果吻合得很好 。 ( ) 得到了一种确定薄膜中最具危害性杂质的热学特性及分布密度的方法 。同时提出了杂质的敏感尺寸范围 SSR 的 概念 , 由此得到材料激光损伤阈值的新的确定表达式 ,该表达式反映的损伤阈值与激光脉宽的关系更加符合实验 结果 。 关键词 　薄膜 ;损伤阈值 ;分形分布 ;杂质 中图分类号 　O 484 　　　文献标识码 　A Fractal Distribution Character of Incl usions in the Fil ms XIA Zhilin1 ,2 , FAN Zhengxiu 1 , SHA O J ianda1 1 S hang hai I ns ti t ute of Op tics an d F i ne M echanics , The Chi nese A ca demy of S ciences , S hang hai 20 1800 , Chi na 2 Gra d uate S chool of t he Chi nese A ca demy of S ciences , B eij i ng 100039 , Chi na Abstract 　It i s inevit able for film s to include inclu sion s , t hese inclu sion s will alt er t he local elect ronic field around t hem in t he film s when film s radiat ed by laser . In radiating by low power den sit y p ul se la ser , inclu sion s are oft en t he original damage sit es which initialize breakdown of film s. Becau se den sit y of inclu sion s i s finit e , damage of film s induced by low power la ser p ul se ha s charact er of p robabilit y . Fract al di st ribution charact er of inclu sion s wit h different s