面向微操作的宏／微精密定位技术研究.pdfVIP

维普资讯 2005年第5期 ·控制与检测 · 文章编号：1001—2265(21305)05—13049—03 面向微操作的宏／微精密定位技术研究* 陈立国1,2，孙立宁 ，边信黔 ，荣伟彬 (1．哈尔滨工程大学，哈尔滨 150001；2．哈尔滨工业大学机器人研究所，哈尔滨 150001) 摘要：宏／微精密定位技术是微操作机器人的关键技术之一。在分析微操作机器人对宏微结合的精密定位技术需求的基础 上．介绍了微米级宏动定位系统以及纳米级微动定位技术的实现方法。最后总结了压 电陶瓷驱动纳米定位技术中的机构、 驱动、检测、控制等关键 问题的研究现状，并对微定位技术发展趋势进行了展望。 关键词 ：微定位 ；压电陶瓷；微操作；机器人 中图分类号：TP242 文献标识码：A Macro／M icroPositioningTeelmiqueforMicromanipulation CHENLi—guoI，SUNLi．rIin ，BIANXin—qian，RONGWei—bin2 (1．HarbinEngineeringInstitute，Harbin150001，China；2．RoboticsInstitute，HarbinInstituteofTechnology， Harbin150001．China) Ab醴喇 ：Macro／micropositioningisakeytechniqueformicromanipulationrobot．Basedontheanalysisofhtemicromanipulationrobot． therealizingmehtodofmacro／micro positioning techniquewasintroduced．Atlast．htestudystatusofs0Il1ekeytechnologiesofnano-posi— ti0ningissmnmarizod ，including mechanism，actuator，sen舯fsandcontroller．Andhtedevelopmentdirectionisprospected． Keyw0 lls：precisionpositioning ；PET；micromanipulation；robot 陶瓷驱动，确保分辨率小于5nⅡ．I3J。哈尔滨工业大学研制的面 0 引言 向光纤耦合作业的微操作机器人采用精密并联机器人实现宏动 微纳米技术的迅猛发展使得研究对象不断微细化，对微小 调整，分辨率可达 0．5um，微动部分采用压 电陶瓷驱动，分辨率 零件进行加工，调整，微机电系统 (MEMS)的装配作业等工作都 达5Ohm，该系统完成了单模光纤的耦合作业。MEMS微装配机 需要微操作机器人的参与。在 自适应光学、光纤对接、医学、生 器人采用压电马达实现宏动调整，采用压电陶瓷驱动的两 自由 物学，特别是动植物基因工程 、农产品改良育种等领域，需要完 度工作台实现微动调整，该系统完成了高温压力传感器的封装。 成细胞融合、微细手术等精细操作，都离不开高精度的微操作机 微操作机器人的研究表明，宏微操作方式是结决大行程、高 器人系统。总之，微操作机器人已经成为人们探索微观世界不 精度操作难点问题的途径。针对操作对象的精度要求不同，在 可缺少的重要工具…I。 ‘ 宏微驱动原理和结构形式上也略有不同。因此，按照定位精度， 精密定位是微操作机器人系统及装备研究的关键技术之 可以将精密定位技术分为微米级宏动定位技