定向凝固多晶硅锭夹杂分布研究学士学位论文.doc

密级： NANCHANG UNIVERSITY 学 士 学 位 论 文 THESIS OF BACHELOR （20** —20）） 年） 题 目 定向凝固多晶硅锭夹杂分布研究 毕业设计（论文）原创性声明和使用授权说明 原创性声明 本人郑重承诺：所呈交的毕业设计（论文），是我个人在指导教师的指导下进行的研究工作及取得的成果。尽我所知，除文中特别加以标注和致谢的地方外，不包含其他人或组织已经发表或公布过的研究成果，也不包含我为获得 及其它教育机构的学位或学历而使用过的材料。对本研究提供过帮助和做出过贡献的个人或集体，均已在文中作了明确的说明并表示了谢意。 作 者 签 名：　　 　 　　日　 期：　　 　 　　 指导教师签名：　　 　 　　 日　　期：　　 　 　　 使用授权说明 本人完全了解 大学关于收集、保存、使用毕业设计（论文）的规定，即：按照学校要求提交毕业设计（论文）的印刷本和电子版本；学校有权保存毕业设计（论文）的印刷本和电子版，并提供目录检索与阅览服务；学校可以采用影印、缩印、数字化或其它复制手段保存论文；在不以赢利为目的前提下，学校可以公布论文的部分或全部内容。 作者签名：　　 　 　　 日　 期：　　 　 　　 学位论文原创性声明 本人郑重声明：所呈交的论文是本人在导师的指导下独立进行研究所取得的研究成果。除了文中特别加以标注引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写的成果作品。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律后果由本人承担。 作者签名： 日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权　　 　 　大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。 涉密论文按学校规定处理。 作者签名： 日期： 年 月 日 导师签名： 日期： 年 月 日 目 录 摘要 I Abstract II 1 引言 1 1.1 太阳能电池多晶硅的研究背景 1 1.2 太阳能多晶硅的国内外现状 1 1.3 问题的提出及本文的研究内容 4 2 实验方法 5 2.1 实验材料、试剂及仪器 5 2.2 实验步骤 5 3 结果与讨论 7 3.1 定向凝固多晶硅锭中夹杂的物相的确定 7 3.2 夹杂物在定向凝固多晶硅中分布特征的确定 10 3.3 定向凝固多晶硅中C、N来源及碳化硅、氮化硅形成条件分析 11 3.4 夹杂丛生模型 14 3.5 夹杂富集在表面层的原因的分析 16 3.6 多晶硅中部的夹杂产生原因的分析 16 4 结论 18 附录 19 附录1 碳化硅、氮化硅形成热力学的matlab分析 19 附录2 夹杂动力方程的详细推导过程 20 附录3 对实践生产提出的几个建议 22 参考文献 24 致谢 26  定向凝固多晶硅锭夹杂分布研究 摘要 光电转换材料绝大多数都采用多晶硅。多晶硅铸锭中的杂质颗粒严重影响其光电转换率和加工性能，其中碳化硅和氮化硅夹杂颗粒的存在威胁到硅片线切割过程，成为造成硅片切割时线中断的主要原因之一，同时也严重影响了线切割硅片的表面质量。 我们采用金相显微仪、X射线衍射仪和扫描电镜－特征X射线能谱仪等先进仪器，采用溶解硅基体后沉淀萃取夹杂颗粒的方法，分别对定向凝固多晶硅铸锭中各个部分进行了夹杂分析。分析结果表明，硅铸锭中夹杂的物相主要有两种：β-SiC和β-Si3N4，其中β-SiC的数量较多，且前者的形貌呈不规则块状，而后者的形貌则呈平直杆状。同时还发现硅锭的顶部表面附近夹杂高度富集，但内部仍有大于50微米的较大的碳化硅夹杂颗粒偶尔出现。在此基础上结合凝固动力学，讨论夹杂颗粒分布特征的形成原因。本文结论为实践生产中进一步提纯多晶硅锭和改进铸锭的切割工艺奠定了理论基础。 关键词：太阳能电池；多晶硅；碳化硅；氮化硅；杂夹分布 Study on distribution of inclusions in directionally solidified multi-crystalline silicon ingot for s