耐磨涂层硕士学位论文.doc

目　录 摘　要 I ABSTRACT III 第一章　绪　论 1 1.1　选题的意义 1 1.2　耐磨涂层的制备技术 2 1.2.1　化学气相沉积 2 1.2.2　物理气相沉积 2 1.3　耐磨涂层的发展现状 5 1.3.1　硬涂层 5 1.3.2　软涂层 7 1.3.3　硬软复合涂层 9 1.4　耐磨涂层的作用机理和影响因素 9 1.4.1　刀具磨损的原因 9 1.4.2　耐磨涂层的作用机理 9 1.4.3　影响涂层刀具性能的因素 10 1.5　本课题的背景和由来 11 1.6　本课题的研究内容 11 第二章　实验方法及原理 13 2.1　磁控溅射离子镀原理与设备 13 2.1.1　磁控溅射离子镀原理 13 2.1.2　磁控溅射离子镀偏置基体的伏安特性 13 2.1.3　封闭场非平衡磁控溅射离子镀设备 15 2.2　涂层试样的制备 16 2.2.1　基体材料的选取与基体预处理 16 2.2.2　涂层沉积工艺设计 16 2.3　涂层性能测试 19 2.3.1　涂层厚度的测量 19 2.3.2　涂层硬度的测试 19 2.3.3　涂层附着性的测试 20 2.3.4　涂层摩擦性能的测试 21 2.4　涂层成分及组织结构分析 22 第三章　多元氮化物涂层的结构和性能研究 23 3.1　多元氮化物涂层的性能测试结果 23 3.1.1　多元氮化物涂层的厚度 23 3.1.2　多元氮化物涂层的硬度 23 3.1.3　多元氮化物涂层的附着性 23 3.2　多元氮化物涂层的成分及组织结构 26 3.2.1　多元氮化物涂层的成分 26 3.2.2　多元氮化物涂层的XRD分析 28 3.2.3　多元氮化物涂层的TEM分析 30 3.3　讨论分析 32 3.4　本章小结 34 第四章　MoS2-Ti涂层 35 4.1　MoS2-Ti涂层的性能测试结果 35 4.1.1　MoS2-Ti涂层的硬度 35 4.1.2　MoS2-Ti涂层的附着性 35 4.1.3　MoS2-Ti涂层的摩擦性能 37 4.2　MoS2-Ti涂层的成分及组织结构 38 4.3　讨论分析 40 4.4　多元氮化物+MoS2-HTi复合涂层的附着性及分析 40 4.5　本章小结 42 第五章　涂层的工业应用 43 5.1　涂层在汽车生产业的应用 43 5.2　涂层在铝合金加工业的应用 44 5.3　涂层在不锈钢加工业的应用 47 5.4　涂层工业应用的经济和社会效益 48 5.4.1　涂层工业应用的经济效益 48 5.4.2　涂层工业应用的社会效益 49 5.5　本章小结 50 第六章　结　论 51 6.1　结论 51 6.2　本文的创新点 51 参考文献 52 致　谢 57 攻读学位期间发表的论文 58 摘　要 涂层技术是提高刀具性能的重要手段。为了获得性能优良的刀具涂层，本文对多元氮化物涂层和MoS2-Ti涂层的进行了制备和研究，并在实际工业应用中对涂层的使用性能进行了测试，试图找到不同涂层的适用范围。 采用封闭场非平衡磁控溅射离子镀技术制备了TiAlN、CrTiAlN、CrSiN多元氮化物涂层、MoS2-Ti涂层以及多元氮化物+MoS2-Ti复合涂层。通过引入中间过渡层的方法来提高涂层与基体的结合强度。测试了涂层的硬度、附着性和摩擦性能，研究了涂层的成分和组织结构与其硬度、附着性和摩擦性能的关系。并把研制的涂层应用于多种刀具上，加工结构钢、铝合金和不锈钢零件。 TiAlN、CrTiAlN、CrSiN多元氮化物涂层的硬度都大于2000 HV，其中CrSiN涂层的硬度达到2730 HV。划痕试验表明，涂层与基体的结合强度高，TiAlN涂层的临界载荷Lc＝58 N，CrTiAlN和CrSiN涂层的临界载荷Lc＞60 N。CrTiAlN和CrSiN涂层具有优良的综合性能。在基体与多元氮化物涂层之间加入Ti/TiN或Cr/CrN中间过渡层大大提高了涂层的附着性， Cr/CrN中间过渡层的效果更好。 MoS2-Ti涂层具有类似非晶的结构，共沉积的钛原子间隙固溶于相邻的硫原子层之间，涂层的无序度随钛含量的升高而增大。MoS2-Ti涂层具有优异的附着性，临界载荷Lc＞100 N。MoS2-Ti涂层的硬度随钛含量的升高而提高，MoS2-HTi涂层的硬度为980 HV，比MoS2涂层的硬度550 HV高将近一倍。在大气环境中的球盘磨损试验显示，MoS2-HTi涂层的耐磨性比MoS2涂层好，MoS2-HTi涂层的比磨损率为3.2×10-17 m3·N-1·m-1。MoS2-Ti涂层的摩擦系数随钛含量的升高而稍微增大，并且高载荷下摩擦系数较小。MoS2-HTi涂层的摩擦系数低于0.07，保持了MoS2涂层低摩擦的特性。 MoS2-Ti涂层不仅与高速钢基体具有优异的结合性，还能与多元氮化物涂层形成很