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高达 67 GHz 的 晶圆噪声系数测量优化 应用指南 噪声系数 (NF) 测量是在制造业 噪声系数测量一般使用两种方 本应用指南讲解了基于 Agilent 研发和流程验证中进行器件表征的 法 : Y 因子方法和冷源法。Y 因子 ( 或 PNA-X微波网络分析仪的冷源测量解 关键环节。进行精确的晶圆噪声系 热/冷源 ) 测量法是两者中的主导方 决方案。PNA-X 装有信号源校正噪声 数测量可能并不简单，要想得到良 法，大多数情况下通过噪声系数分 系数测量选件 ( 选件 029) ，提供一流 好的测量结果，这取决于所采用的 析仪和基于频谱分析仪的解决方案 的精度。新硬件支持高达 50 GHz 的测 测量方法和测试配置。 来实现。相比之下，冷源测量法一 量。在 50 GHz 至 67 GHz 频率范围内进 般通过矢量网络分析仪 (VNA) 实现， 行测量时，需要使用额外的外部硬 分析仪提供幅度和相位信息。因此， 件。PNA-X 还能够缩短测量时间 : 它 冷源技术能够获得更高的噪声系数 通过与被测器件 (DUT) 进行单次连接 测量精度。 来执行多种测量，例如噪声系数、S 参数、增益压缩和互调失真 (IMD) 。 概述 : 噪声系数 噪声因子 ( 线性表示 ) 和噪声系数 ( 对数表示 ) 是非常有用且普及的品质因 数，用于表征放大器或频率转换器对传输信号增添了多少噪声。两者的定义 简单直接。网络的噪声因子 (F) 定义为输入信噪比 (SNR) 除以输出 SNR 的值 : F = (S/N )/(S /N ) i i o o 噪声系数是以分贝数表示的噪声因子 : NF = 10 x log(F) 在理想的放大器中，输出噪声等于输入噪声乘以放大器增益。这样，放 大器的输入和输出 SNR 就会相同。实际上，由于放大器本身带有噪声，因而 输出噪声要大于输入噪声乘以放大器增益。输出 SNR 小于输入 SNR ，由此 F 大于 1 且 NF 大于 0 dB 。 噪声系数测量 噪声系数测量一般使用两种方法 : Y 因子方法和冷源法。Y 因子 ( 或热/冷 源 ) 测量法使用经过校准的噪声源，包括噪声经过优化、可以打开和关闭的 雪崩二极管。在二极管后面放置衰减器，以确保良好的输出匹配。 当关闭二极管时 ( 例如没有偏置电流 ) ，噪声源会产生与室温端接状态相 同的噪声。当二极管被施加偏压而“打开”时，所得到的雪崩击穿会产生明 显多于室温端接状态的电子噪声。额外噪声由超噪比或 ENR 表示。典型 ENR 值是 5 dB 或 15 dB 。通过对冷/热输入端接的输出功率进行单独测量，可确定 被测器件的增益和噪声系数。 冷源技术有时称为直接噪声方法，仅使用单个冷态输入端接 ( 一般是室 温 ) 。使用 VNA 时，该方法能够缩短测量时间 : 只需与被测器件进行一次连接， 即可执行多种测量，包括噪声系数和 S 参数测量。重复多次的探针测量可能 损坏部件，因而这种技术非常适合晶圆上器件。 2 VNA 可对测试系统和被测器件提供矢量 ( 幅度和相位 ) 测量，测量精度远 胜于其它测量方法。这些优势适用于很多被测器件 : 放大器、频率转换器等。 只要放大器是线性的，其输出功率与输入噪声的关系图就会是一条直线 ( 图 1) 。低噪声放大器 (LNA) 用于放大那些远离放大器压缩区域的低电平信号， 因而线性度可作为放大器的假定条件。 P out () P out ()