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江 舟 出任cs 理 事长 IC C hin a 2009 在苏州开展
中芯 国际 集成 电路有 限 公 司 董事长江 上 舟 , 在 10 月22 疆 , 第 七 届 中 国 国 际 集 成 电路 览会 暨 峰 论 坛 】
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月 日召开 的 中国半导 体 行业 协 会第五 届 会 员代 0 9 ) 与 中国苏州 电子 信 息博 览会 eM E X 009 ) 在苏州 国l
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表 大会 上 , 被 选 为 中国半导 体 行 业 协 会 第五 届 理 事 博 览 中心 拉开 序幕 。 组 办 方称 , 本 届 展会参展 企 业 超过200家 , 展 !
面 积近 2万 平 米 。 参展 企业 覆 盖 半导体产业 上 下游 的各个环 节 。
目前 , 中 国集 成 电路 制 造 装 备 和 成 套 工 艺 在 国 家 科 技 重 大
项 及 有 关 政 策 的 扶 持 下 , 企 业 经 过 多年 的 技 术 攻 关 和 积 累 , 发 ,
势 头 良好 , 前 道 工 序 应 用 的刻 蚀 机 、 离 子 注 入 机 、 扩 散 炉 、 清 ;
机 、 P E C V D 等 装 备 及 后 道 工 序 中用 的划 片机 、 装 片机 、 塑 封 压 j
及 模具 、 测 试 机 等 设 备 ,材 料 设 备 中的单 晶炉 、 研 磨机 、 抛 光 机
多线切 割 等 设 备 发 展 很 快 。 IC C hin a 2009 展 示 了 国 内成 套 工 艺
关 键 材 料 取 得 重 大 突破 , 基 本 反 映 出 中国集 成 电路 制 造 装 备 、 :
部 件 、 材 料 产 业 与 集 成 电路 制 造 工 艺 取 得 的 最 新 成 果 , 面 对 I
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