高速沉积本征微晶硅薄膜微结构的研究及其对电池性能的影响.pdfVIP

薄 阳电 及 膜硅太 池 材料 晶 及 速沉积本征微 硅 膜微结构的研 其 高 薄 究 电 对 池性能的影响 晓 国付 张晓丹 长 孙 明 陈新 张德 娜 君 韩 侯 魏 春 建 薛俊 亮 冲 李琳 李贵 颖 新 赵 耿 华 , , , 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所 光电 息技术科学教育部重点实验室 光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 信 天津, 《洲 一 。 刀 摘 要 本文采用高压高功率的 技术在沉积速率 时沉积了一系列不同厚度的本征微晶硅薄膜 , , 。 , 通过测试该系列材料的 谱 和 研究了高速沉积本征微晶硅薄膜的微结构特性 结果表明