2、精密与超精密加工技术.pptVIP

2.1 概述 2.1.1 精密与超精密加工的定义 2.1.2 精密与超精密加工的地位 2.1.3 精密与超精密加工的分类 2.1.4 精密与超精密加工的特点 2.2 精密与超精密加工的主要方法 2.2.1 金刚石刀具镜面切削 2.2.2 精密与超精密磨削 2.2.3 超精密研磨与抛光 2.3 超精密加工的设备与环镜 2.3.1 超精密加工的设备 2.3.2 超精密加工的环境 2.2.2精密与超精密磨削 在工具和模具制造中，磨削是保证产品的精度和质量的最后一道工序，在磨削脆性材料时，由于材料本身的物理特性，切屑形成多为脆性断裂，磨剂后的表面比较粗糙。在某些应用场合如光学元件，这样的粗糙表面必须进行抛光，它虽能改善工件的表面粗糙度，但由于很难控制形状精度，抛光后经常会降低。为了解决这一矛盾，在80年代末日本和欧美的众多公司和研究机构相继推回了两种新的磨削工艺：塑性磨削（Ductile Grinding）和镜面磨削（Mirror Grinding）。 镜面磨削 ? 顾名思义，它关心的不是切屑形成的机理而是磨削后的工件表面的特性。当磨削后的工件表面反射光的能力达到一定程度时，该磨削过程被称为镜面磨削。镜面磨削的工件材料不局限于脆性材料，它也包括金属材料如钢、铝和钼等。为了能实现镜面磨削，日本东京大学理化研究所的Nakagawa和Ohmori教授发明了电