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第十二章 X射线光电子能谱分析 1.发展概况 2.基本原理 3. 设备结构 4. 实验方法 5. XPS谱图分析 6. XPS的应用 发展概况 19世纪末赫兹就观察到了光电效应， 20世纪初爱因斯坦建立了有关光电效应的理论公式 直到1954年，瑞典皇家科学院院士，Uppsala大学物理研究所所长，K.Seigbahn教授领导的研究小组创立了世界上第一台光电子能谱仪 2．基本原理 2.1 光电子的产生 光电效应 光电发射定律 弛豫效应 2.2化学位移 分子电位---电荷势模型 与元素电负性的关系 与原子氧化态的关系 光电效应 当一束能量为hν的单色光与原子发生相互作用，而入射光量子的能量大于原子某一能级电子的结合能时，发生电离： M + hν= M*+ + e- 光电效应过程同时满足能量守恒和动量守恒，入射光子和光电子的动量之间的差额是由原子的反冲来补偿的。 由于需要原子核来保持动量守恒，因此光电效应的几率随着电子同原子核结合的加紧而很快的增加，所以只要光子的能量足够大，被激发的总是内层电子。外层电子的光电效应几率就会很小，特别是价带，对于入射光来说几乎是“透明”的。 光电发射定律 光电发射定律 对气态原子或分子 EBv = hυ – EKv 对固体样品必须考虑晶体势场和表面势场对光电子的束缚作用以及样