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11 位移的测量 11.1 常用的位移传感器 • 电阻：应变、压阻、变阻。 • 电感：自感：变气隙、螺线管； 互感：差动变压器； 涡流。 • 电容：变面积、变极距、变介电常数。 • 霍尔元件。 • 光栅、光电编码盘、磁尺、激光干涉仪。 根据环境、动态特性、量程、精度、价格等参 数选择。 11.2 光栅传感器 特点: •高精度和分辨率，仅低于激光干涉仪，长光 栅精度0.5~3μm/3000mm; •大量程，精度高于感应同步器和磁栅； •动态测量，易于实现测量和数据处理自动化, 数显； •抗干扰能力强，应用于数控机床; •成本比感应同步器和磁栅传感器高； •在现场使用时要求密封，以防止油污、灰尘、 铁屑等的污染。 11.2.1 光栅传感器的基本原理 用于位移测量的光栅称为计量光栅。 计量光栅的分类： 透射式——光线通过光栅后产生明暗条纹； 反射式——反射光线并使之产生明暗条纹； 直光栅——测量位移； 圆形光栅——测量角位移。 直光栅上的刻线称为栅线， W＝a+b称为光栅的 栅距 （光栅常数或节距） ，a 、b分别为栅线和 缝隙宽