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第 33 卷 第 8 期增刊 仪 器 仪 表 学 报 Vol.33 No.8 2012 年 8 月 Chinese Journal of Scientific Instrument Aug. 2012 AFM 检测模块中PSD 信号处理电路设计* 1,2 1 2 2 2 刘小进 石振刚 田孝军 王 栋 周 磊 ( 1 沈阳理工大学 沈阳 110016 ； 2 中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室 沈阳 110016 ) 摘 要: 为提高 AFM 对基底的扫描速度和成像分辨率，选用了一种新型的位置敏感器件，设计了一套基于高速差分放大器 的 PSD 信号采集模块，该模块具有体积小、结构合理、受地面噪声干扰小等优点。为便于分析，实验中，用数字源表提供 单路电流，将 PSD 信号采集模块的差分输出与单端输出结果进行比较，同时对实验数据做频谱