01电子显微分析02.pptVIP

* 电子微显与微分析技术 材料与能源学院 * 绪论 显微分析的内容： 表面和内部组织形貌（形貌分析） 化学成分和价键结构（成分与价键分析） 晶体的相结构（物相分析） 有机物的分子结构（分子结构分析） 基本原理：利用入射电磁波或物质波与物质作用，产生携带样品信息的各种出射电磁波或物质波，探测这些出射的信号，进行分析处理，即可获得材料的组织、结构、成分、价键信息。 * 形貌分析 光学显微镜 扫瞄电子显微镜（SEM） 扫描隧道显微镜（STM） 原子力显微镜(AFM) * 成分与价键分析 电子探针仪（EPMA） 俄歇电子能谱仪（AES） X射线光电子能谱仪（XPS ，UPS) 二次离子质谱（SIMS） 卢瑟辐背散射谱（RBS) * 结构分析 X射线衍射（XRD） 透射电子显微镜（TEM）（形貌、结构） 透射电子衍射(TED) 高分辨透射电镜(HRTEM) 低能电子衍射(LEED) 中子衍射（ND） * 分子结构分析 红外光谱(FTIR) 紫外可见吸收光谱（UV-Vis） Raman 光谱 核磁共振光谱（NMR） * 提高分辨率的途径 1、减小波长 根据分辨率公式： （1）使用短波长可见光，如蓝光DVD，紫外光刻 （2）使用物质波—电子显微镜 2 增加数值孔径（N.A.） * 第一章 扫描电子显微分析 电子束与固体样品作用时产生的信号 扫描电镜发展简史 扫描电镜工作原理及构造 *