大尺寸蓝宝石单晶生长过程模拟分析.pdfVIP

! 第# 卷 第# 期! ! ! ! ! ! ! ! ! 人! 工! 晶! 体! 学! 报! ! ! ! ! ! ! ! $%’ #! (%’ # ! )**+ 年,* 月! ! ! ! ! ! ! ! ! -./0(12 .3 45(67869: :0546124 ! ! ! ! ! ! ! ! ! .;%=? ，)**+ ! 冷心放肩微量提拉法大尺寸蓝宝石单晶 生长过程的模拟分析 许承海，左洪波，孟松鹤，姚! 泰，汪桂根，李长青，张明福 （哈尔滨工业大学复合材料研究与结构所，哈尔滨 ,#*** , ） 摘要：利用数值模拟方法计算了冷心放肩微量提拉法（41@A1: ）蓝宝石晶体生长过程。结合晶体直径变化、裂纹 出现位置与延续方向、晶体透明性等实验现象，通过与提拉法、温梯法、坩埚移动法等相对比，分析了冷心放肩微量 提拉法晶体生长各阶段的工艺特点，并根据模拟计算结果对晶体生长系统和晶体生长控制工艺进行了改进。分别