高效太阳能电池的工艺流程-星问答——上海研发公共服务.docVIP

高效太阳能电池的工艺流程 ? 高效单晶硅太阳电池工艺流程如下：? 1)去除损伤层? 2)表面绒面化? 3)发射区扩散?????????????? ? 4)边缘结刻蚀? 5)PECDV沉积SiN? 6)丝网印刷正背面电极浆料? 7)共烧形成金属接触? 8)电池片测试。? 下面我们着重来看一下工艺，? 1.首先是绒面制备： ?硅片采用0.5~2Ω.cm，P型晶向为（100）的单晶硅片。利用氢氧化钠溶液对单晶硅片进行各向异性腐蚀的特点来制备绒面。当各向异性因子=10时（所谓各向异性因子就是（100）面与（111）面单晶硅腐蚀速率之比），可以得到整齐均匀的金字塔形的角锥体组成的绒面。绒面具有受光面积大，反射率低的特点。可提高单晶硅太阳电池的短路电流，从而提高太阳电池的光电转换效率。 金字塔形角锥体的表面积S0等于四个边长为a正三角形S之和? S0 = 4S = 4×a×a = a2? 由此可见有绒面的受光面积比光面提高了倍即1.732倍。 当一束强度为E0的光投射到图中的A点，产生反射光Φ1和进入硅中的折射光Φ2。反射光Φ1可以继续投射到另一方锥的B点，产生二次反射光Φ3和进入半导体的折射光Φ4；而对光面电池就不产生这第二次的入射。经计算可知还有11%的二次反射光可能进行第三次反射和折射，由此可算得绒面的反射率为9.04%。 ? 2.绒面制备：? 采