原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第 卷 第 期 半 导 体 学 报
２９ ６ 犞狅犾．２９ 犖狅．６
年 月 ，
２００８ ６ 犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犑狌狀犲２００８
犕犗犆犞犇反应器的最佳输运过程及其优化设计
， ，
左 然１ 李 晖１２
（ 江苏大学能源与动力工程学院，镇江 ）
１ ２１２０１３
（ 集美大学机械工程学院，厦门 ）
２ ３６１０２１
摘要：根据 过程薄膜生长的基本要求，总结出各种 反应器普遍适用的最佳输运过程的 个条件，即均
犕犗犆犞犇 犕犗犆犞犇 ５
匀浓度边界层、均匀速度边界层、均匀温度边界层、分隔进口但反应前混合均匀、以及迅速排出尾气不再发生混合 对照最
．
佳输运过程条件，分别对水平式、行星式、垂直喷淋式、高速转盘式反应器进行了分析和讨论 水平式反应器的主要问题是
．
反应物的沿程损耗、热对流涡旋以及侧壁效应，造成基片沿横向和纵向的厚度和浓度不均，因此只适合实验室应用 垂直式
．
反应器通过高速旋转或近距离喷射，可以均匀分配反应物浓度，并抑制热对流涡旋 其主要困难是反应后的尾气不能及时
．
排出，从而仍存在径向浓度不均，造成基片沿径向的厚度和浓度的波动 商用的垂直式反应器还面临托盘直径进一步扩大
．
的难度 文章为 反应器的控制和设计提供了重要的参考依据
． 犕犗犆犞犇 ．
关键词：金属有机化学气相沉积；薄膜生长；犕犗犆犞犇反应器设计；输运现象；优化条件
： ；
犘犃犆犆 ８１１５犎 ４７２５犙
中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ）
犜犖３０４０５４ 犃 ０２５３４１７７２００８０６１１６４０８
足最佳输运过程条件，并从中寻找反应器设计的规律．
文档评论（0）