碳化硅衬底上硅碳锗薄膜的生长特性研究.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 . K ’$$ K ， ， ， IB? 5. ;B 5K +1F@1=N1O ’$$ （ ） #$$$*3’K$G’$$G. $K G($$*$( 7-H7 8)L+M-7 +M;M-7 #’$$ -P,A 5 8PQR 5 +BD 5 ############################################################### ! 碳化硅衬底上硅碳锗薄膜的生长特性研究! ! 林 涛 陈治明 李 佳 李连碧 李青民 蒲红斌 （西安理工大学电子工程